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更新时间:2026-08-27
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原装供应:玉崎科学仪器(深圳)有限公司,品牌负责人林经理 办公地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
B:两位式气动开关蝶阀,仅全开、全关,无中间调节开度
C:CF 刀口法兰(超高真空法兰,搭配无氧铜垫圈)
50:公称通径 CF50(DN50)
可定制:单作用弹簧复位(失气自动全关);密封可选 Kalrez 全氟醚;可提供手动版本。
齿轮齿条气缸驱动
标准双作用气缸,只有 0° 全关、90° 全开两个机械位置,不可做 PID 调压、不可慢抽;气缸内置气垫缓冲,启闭冲击小,降低振动,减少密封圈磨损,适合反复启闭科研工况。
CF 刀口法兰超高真空密封
法兰刀口挤压无氧铜垫圈实现金属密封,支持高温烘烤除气,适配无油超高真空系统;阀体、蝶板 SUS304 镜面电解抛光 EP,放气率极低,适合表面分析、电子束、质谱类设备。
阀位反馈:标配 2 路独立微动开关,输出全开、全关无源接点信号,对接 PLC 实现联锁保护。
⚠️阀体最高烘烤温度 200℃;气缸执行机构环境温度≤40℃,严禁烘烤气缸。双作用版本断气保持当前阀位;选型单作用弹簧复位,失气自动全关,用于安全联锁,防止大气倒灌损坏分子泵。
| 项目 | B‑C50 CF50 参数 |
|---|---|
| 公称通径 | CF50(DN50)刀口法兰 |
| 真空工作区间 | 常压~10⁻⁷Pa 超高真空,双向承压 |
| 泄漏率 | 阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s;轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,氦检出厂 |
| 驱动气源 | 0.4‑0.6MPa 洁净无油压缩空气;标准双作用,可选单作用弹簧复位 |
| 阀位模式 | 仅 0° 全关 /90° 全开,无中间开度,无慢抽功能 |
| 过流材质 | 阀体、蝶板 SUS304,内腔镜面电解抛光 EP |
| 标准密封 | 轴封 FKM 氟橡胶;法兰端依靠无氧铜垫圈金属密封;可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封 |
| 烘烤温度 | 阀体最高 200℃;气缸执行器≤40℃,不可烘烤 |
| 机械寿命 | ≥100 万次循环,气垫缓冲降噪 |
| 电气信号 | 2 路微动开关:全开、全关阀位信号输出 |
选型边界区分:
B‑C50(B 系列开关蝶阀):仅全开全关隔离切断,金属刀口法兰,科研 UHV 系统,无慢抽、无调压;
BH‑C50(BH 两段缓抽阀):全关‑慢抽‑全开三机械档位,用于需要预抽防冲击的 CF 腔体;
BAR‑C50(BAR 电动伺服蝶阀):0‑90° 连续角度可调,搭配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压;
G‑C50(G 气动伺服蝶阀):气源驱动连续 PID 闭环调压。
| 项目 | B‑C50 两位通断蝶阀 | BH‑C50 两段缓抽蝶阀 | BAR‑C50 电动伺服蝶阀 |
|---|---|---|---|
| 驱动 | 气动双作用(可选弹簧复位) | 双气缸气动两段式 | DC24V 伺服电机,可选‑B 抱闸 |
| 阀位模式 | 只有全关、全开两位置 | 全关‑慢抽‑全开三机械档位 | 0‑90° 连续角度可调 |
| 控制能力 | 仅通断隔离,无慢抽、无 PID | 机械档位,可慢抽,不可 PID 闭环 | 配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压 |
| 适用定位 | 科研 UHV、分子泵隔离、腔体隔断 | CF 腔体预抽,防样品飞溅 | 科研镀膜,需要连续压力闭环稳压 |
供货状态:B‑C50 CF50 超高真空蝶阀,部分现货;单作用弹簧复位、Kalrez 密封版本日本原厂订货;可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。
选型避坑:B‑C50 是纯开关阀,无慢抽、无调节功能;CF 法兰必须配套无氧铜垫圈才能实现超高真空;不要和普通橡胶密封 KF 版本混淆。
提示:市面存在翻新二手阀,采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。