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MIYUKI 美幸辉 B‑I200 ISO‑F DN200 两位通断气动蝶阀玉科原装供应

更新时间:2026-08-27点击次数:14

MIYUKI 美幸辉 B‑I200|ISO‑F DN200 两位通断气动蝶阀(分子泵隔离 / 腔体总隔断)

原装供应:玉崎科学仪器(深圳)有限公司,品牌负责人林经理  公司地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

型号:B‑I200,ISO‑F DN200(200A)两位式气动蝶阀B 系列为纯开关通断阀,只有全关、全开两个位置,无任何中间调节开度;超薄阀体,大流导,低放尘,主打管路隔离切断;用于分子泵隔离阀、腔体总隔断、主抽回路通断,不做压力调节、慢抽控制。

型号释义

  • B:两位式气动开关蝶阀,仅全开 / 全关,无调节功能

  • I:ISO‑F 欧标真空法兰

  • 200:公称通径 DN200(200A)

可定制:JIS、KF、CF 刀口法兰;密封升级 Kalrez (FFKM) 全氟醚适配等离子腐蚀工况;可选单作用弹簧失气全关版本。

结构与工作原理

  1. 齿轮齿条气缸驱动,双作用标准型

    仅 0° 全关、90° 全开两个机械位置,无中间档位,不能做 PID 调压、不能做慢抽;气缸两端内置气垫缓冲,启闭冲击小,降低振动与密封磨损,延长密封圈寿命。

  2. 阀位信号反馈:内置 2 路独立微动开关,输出全开、全关无源接点信号,直接对接 PLC 实现自动化联锁;可直观反馈阀门实际状态,防止误判。

  3. 阀体超薄对夹结构:流导大,管路压降小,适合大口径主抽管路;SUS304 镜面电解抛光 EP,洁净室装配,低放气低析出,适配工业与半导体中高真空系统。

⚠️注意:阀体支持最高 150℃烘烤;气缸执行器环境温度≤40℃,严禁烘烤气缸组件。标准双作用:断气保持当前阀位;选型单作用弹簧复位版本,失气自动全关,用于安全联锁场景。

完整技术参数

表格
项目B‑I200 ISO‑F DN200 参数
公称通径DN200(200A)ISO‑F 法兰
真空工作区间1×10⁵Pa(常压)~1×10⁻⁵Pa 高真空
泄漏率阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s;轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,氦检出厂
驱动气源0.4‑0.6MPa 洁净干燥无油压缩空气;标准双作用,可选单作用弹簧复位
阀位模式仅 0° 全关 /90° 全开,无中间开度、无慢抽功能
过流材质阀体、蝶板 SUS304,内腔镜面电解抛光 EP
标准密封FKM 氟橡胶,‑25~120℃;可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封
烘烤温度阀体最高 150℃;气缸执行器≤40℃,不可烘烤
机械寿命≥100 万次循环,气垫缓冲降噪
电气信号2 路微动开关:全开、全关阀位信号输出

典型应用场景(分子泵隔离 / 腔体总隔断)

  1. 分子泵、涡轮泵前泵阀类端隔离阀停机隔离分子泵,防止大气倒灌冲击泵体;泵维护检修时切断腔体与泵组,保障腔体真空状态。
  2. 大型真空腔体总隔断、主抽管路通断锂电、光伏、大型镀膜设备主回路切断;腔体维护时隔离泵组,不用整台停机;适配欧美进口 ISO‑F 法兰设备改造替换。
  3. PVD、卷绕镀膜、热处理炉主管路切断只做通断隔离,不参与压力调节;搭配旁路阀、慢抽阀实现完整抽气时序。
选型边界区分:
  • B‑I200(B 系列开关蝶阀):只做全开全关隔离切断,无慢抽、无调压功能

  • BH‑I200(BH 两段缓抽阀):全关‑慢抽‑全开三机械档位,用于防飞溅预抽;

  • BAR‑I200(BAR 电动伺服蝶阀):0‑90° 连续角度可调,配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压;

  • G‑I200(G 气动伺服蝶阀):气源驱动连续 PID 闭环调压。

系统配置方案

系统组成:B‑I200 两位通断蝶阀 + 电磁阀 + PLC 联锁控制工作流程:PLC 控制电磁阀,实现阀门全开 / 全关;阀位开关反馈给 PLC 做互锁逻辑;分子泵停机时关闭 B‑I200,隔绝大气保护泵组;如需慢抽预抽,需要额外配置 BH 系列缓抽阀或者旁路针阀。

选型对比(B‑I200 VS BH‑I200 VS BAR‑I200)

表格
项目B‑I200 两位通断蝶阀BH‑I200 两段缓抽蝶阀BAR‑I200 电动伺服蝶阀
驱动气动双作用(可选弹簧复位)双气缸气动两段式DC24V 伺服电机,可选‑B 抱闸
阀位模式只有全关、全开两位置全关‑慢抽‑全开三机械档位0‑90° 连续角度可调
控制能力仅通断隔离,无慢抽、无 PID机械档位,可慢抽,不可 PID 闭环配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压
适用定位分子泵隔离、腔体总隔断大腔体预抽,防物料飞溅镀膜、锂电,连续压力闭环稳压

供货与选型提示

  1. 供货状态:B‑I200 大口径开关蝶阀,部分现货;Kalrez 密封、单作用弹簧复位版本日本原厂订货;可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。

  2. 选型避坑:B‑I200 是纯开关阀,无慢抽、无调节功能;工艺需要慢抽必须选用 BH 系列;需要压力闭环选用 BAR/G/GAR 伺服系列。

提示:市面存在翻新二手阀,采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。


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