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更新时间:2026-08-27
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原装供应:玉崎科学仪器(深圳)有限公司,品牌负责人林经理 公司地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
B:两位式气动开关蝶阀,仅全开 / 全关,无调节功能
I:ISO‑F 欧标真空法兰
200:公称通径 DN200(200A)
可定制:JIS、KF、CF 刀口法兰;密封升级 Kalrez (FFKM) 全氟醚适配等离子腐蚀工况;可选单作用弹簧失气全关版本。
齿轮齿条气缸驱动,双作用标准型
仅 0° 全关、90° 全开两个机械位置,无中间档位,不能做 PID 调压、不能做慢抽;气缸两端内置气垫缓冲,启闭冲击小,降低振动与密封磨损,延长密封圈寿命。
阀位信号反馈:内置 2 路独立微动开关,输出全开、全关无源接点信号,直接对接 PLC 实现自动化联锁;可直观反馈阀门实际状态,防止误判。
阀体超薄对夹结构:流导大,管路压降小,适合大口径主抽管路;SUS304 镜面电解抛光 EP,洁净室装配,低放气低析出,适配工业与半导体中高真空系统。
⚠️注意:阀体支持最高 150℃烘烤;气缸执行器环境温度≤40℃,严禁烘烤气缸组件。标准双作用:断气保持当前阀位;选型单作用弹簧复位版本,失气自动全关,用于安全联锁场景。
| 项目 | B‑I200 ISO‑F DN200 参数 |
|---|---|
| 公称通径 | DN200(200A)ISO‑F 法兰 |
| 真空工作区间 | 1×10⁵Pa(常压)~1×10⁻⁵Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s;轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,氦检出厂 |
| 驱动气源 | 0.4‑0.6MPa 洁净干燥无油压缩空气;标准双作用,可选单作用弹簧复位 |
| 阀位模式 | 仅 0° 全关 /90° 全开,无中间开度、无慢抽功能 |
| 过流材质 | 阀体、蝶板 SUS304,内腔镜面电解抛光 EP |
| 标准密封 | FKM 氟橡胶,‑25~120℃;可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封 |
| 烘烤温度 | 阀体最高 150℃;气缸执行器≤40℃,不可烘烤 |
| 机械寿命 | ≥100 万次循环,气垫缓冲降噪 |
| 电气信号 | 2 路微动开关:全开、全关阀位信号输出 |
选型边界区分:
B‑I200(B 系列开关蝶阀):只做全开全关隔离切断,无慢抽、无调压功能;
BH‑I200(BH 两段缓抽阀):全关‑慢抽‑全开三机械档位,用于防飞溅预抽;
BAR‑I200(BAR 电动伺服蝶阀):0‑90° 连续角度可调,配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压;
G‑I200(G 气动伺服蝶阀):气源驱动连续 PID 闭环调压。
| 项目 | B‑I200 两位通断蝶阀 | BH‑I200 两段缓抽蝶阀 | BAR‑I200 电动伺服蝶阀 |
|---|---|---|---|
| 驱动 | 气动双作用(可选弹簧复位) | 双气缸气动两段式 | DC24V 伺服电机,可选‑B 抱闸 |
| 阀位模式 | 只有全关、全开两位置 | 全关‑慢抽‑全开三机械档位 | 0‑90° 连续角度可调 |
| 控制能力 | 仅通断隔离,无慢抽、无 PID | 机械档位,可慢抽,不可 PID 闭环 | 配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压 |
| 适用定位 | 分子泵隔离、腔体总隔断 | 大腔体预抽,防物料飞溅 | 镀膜、锂电,连续压力闭环稳压 |
供货状态:B‑I200 大口径开关蝶阀,部分现货;Kalrez 密封、单作用弹簧复位版本日本原厂订货;可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。
选型避坑:B‑I200 是纯开关阀,无慢抽、无调节功能;工艺需要慢抽必须选用 BH 系列;需要压力闭环选用 BAR/G/GAR 伺服系列。
提示:市面存在翻新二手阀,采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。