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更新时间:2026-08-26
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原装现货供应:玉崎科学仪器(深圳)有限公司品牌负责人:林经理地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
G:G 系列 气动伺服调节蝶阀(气源驱动闭环,非电动)
I:ISO‑F 国际标准真空法兰
300:公称通径 DN300(300A)
可定制变更法兰:JIS、CF 刀口法兰;密封件可选 Kalrez 全氟醚,适配腐蚀性工艺气体。
驱动:纯气动伺服机构,无电机
0.4‑0.6 MPa 洁净干燥无油压缩空气驱动;内置阀位反馈电位器输出阀位信号,与MGCS‑11 真空压力控制器组成 PID 闭环系统,自动调整蝶板开度稳定大腔体工艺压力。
安全机制:单作用弹簧复位,失气自动全关
气源丢失弹簧强制关闭阀门,切断腔体与真空泵通路,防止大气倒灌,保护锂电极片、光伏基板,规避物料报废;无电磁抱闸,失气直接全关,不能维持原有开度。
大口径超薄大通导阀体
针对大腔体工况优化流道,流导大、抽气阻力低,缩短大型腔体抽真空时间;无流向限制,水平、垂直、倾斜任意角度安装。
球面多点双向压紧密封
正、反向压差条件下保持低泄漏;启闭摩擦小,低发尘,适配锂电、光伏新能源洁净工艺。
出厂检测:百级洁净室装配,逐台氦质谱检漏。
| 项目 | G‑I300 ISO‑F DN300 参数 |
|---|---|
| 公称通径 | DN300(300A),ISO‑F 法兰 |
| 压力工作区间 | 1×10⁵Pa(常压)~1×10⁻⁶Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s;轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,氦检出厂 |
| 驱动气源 | 0.4‑0.6 MPa,干燥洁净无油压缩空气;弹簧复位失气关闭 |
| 开度调节 | 0‑90° 连续无级调节;阀位反馈输出,对接 MGCS‑11 闭环控制 |
| 过流材质 | 阀体、蝶板 SUS304,内腔电解抛光 EP,低放气低颗粒析出 |
| 标准密封 | FKM 氟橡胶,‑25~120℃;可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封 |
| 烘烤温度 | FKM 密封最高 120℃;Kalrez 版本最高 150℃ |
| 机械寿命 | ≥100 万次循环 |
| 电气选配 | 微动开关输出全开 / 全关信号;阀位反馈信号输出 |
| 配套控制器 | MGCS‑11(主力)、MG‑mini485 嵌入式控制器 |
锂电大型脱气腔体、锂电真空烘烤腔体
大腔体排气节流调压,搭配 MGCS‑11 + 电容薄膜规 PID 闭环,稳定腔体真空工艺压力;失气弹簧全关,保护极片材料,避免空气侵入氧化物料。
适合大容量锂电池量产设备,ISO‑F 法兰匹配国内锂电设备主流管路标准。
⚠️选型提醒:8/12 寸半导体先进制程量产产线,要求断电保持阀位,优先选用GAR‑I300B 电动伺服带抱闸型号;G‑I300 气源驱动更适合锂电、光伏、工业量产设备。
| 项目 | G‑I300(气动伺服) | GAR‑I300B(电动伺服) |
|---|---|---|
| 驱动 | 压缩空气驱动,无电机 | 伺服电机直驱,带电磁抱闸‑B |
| 失气 / 断电状态 | 失气弹簧直接全关 | 断电抱闸,保持当前开度 |
| 适用定位 | 锂电、光伏、工业大腔体设备 | 半导体量产刻蚀、CVD 产线 |
| 布线 | 只需气源,无需电机供电 | 需要供电,电机线缆布置 |
供货状态:G‑I300 属于大口径特种伺服阀,国内现货少,多为日本原厂订货;可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书;支持 Kalrez 密封定制。
选型避坑:不可与开关蝶阀 B‑I300 混淆;B‑I300 仅开关功能,无开度调节,不能做闭环压力控制。
提示:市场存在翻新二手阀,采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。