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MIYUKI 美幸辉 G‑J100 JIS DN100 气动伺服真空控制蝶阀玉科原装供应
更新时间：2026-08-26
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MIYUKI 美幸辉 G‑J100 JIS DN100 气动伺服真空控制蝶阀（气源驱动闭环）
原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司品牌负责人：林经理地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
型号：G‑J100，JIS DN100（100A）气动伺服调节蝶阀G 系列通用型气源驱动伺服调节阀，无需伺服电机供电，0‑90° 全行程无级开度调节；阀体紧凑小巧，性价比高，是中小腔体闭环调压主力型号，广泛用于小型 PVD 镀膜、等离子腔体、科研实验、锂电、中试刻蚀设备压力闭环控制。
型号释义
G：G 系列 气动伺服调节蝶阀（气源驱动闭环，非电动）
J：JIS B2290 日标法兰
100：公称通径 DN100（100A）
可定制更换法兰：ISO‑F、CF 刀口法兰；密封可选 Kalrez 全氟醚抗等离子腐蚀密封。
结构与工作原理
驱动：纯气动伺服机构，无电机
0.4‑0.6 MPa 洁净干燥无油压缩空气驱动；内置阀位反馈电位器输出阀位信号，外接MGCS‑11 真空压力控制器构成 PID 闭环系统，自动调整蝶板开度稳定腔体工艺压力。
安全机制：单作用弹簧复位，失气自动全关
气源丢失弹簧强制关闭阀门，隔离泵组与腔体，防止大气倒灌污染基板、样品；无断电抱闸，失气直接全关，不能维持当前开度。
紧凑超薄阀体
体积小巧，面间尺寸短，流导优秀；无流向限制，水平、垂直、倾斜任意角度均可安装，适配设备内部狭小安装空间。
球面多点双向压紧密封
正向、反向压差工况均可保持低泄漏；启闭摩擦小，低发尘，适配镀膜、等离子洁净工艺。
出厂检测：百级洁净室装配，逐台氦质谱检漏。
完整技术参数
表格
| 项目 | G‑J100 JIS DN100 参数 |
|---|---|
| 公称通径 | DN100（100A），JIS B2290 法兰 |
| 压力工作区间 | 1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁶Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂 |
| 驱动气源 | 0.4‑0.6 MPa，干燥洁净无油压缩空气；弹簧复位失气关闭 |
| 开度调节 | 0‑90° 连续无级调节；阀位反馈输出，对接 MGCS‑11 闭环控制 |
| 过流材质 | 阀体、蝶板 SUS304，内腔电解抛光 EP，低放气低颗粒析出 |
| 标准密封 | FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等离子腐蚀 |
| 烘烤温度 | FKM 密封最高 120℃；Kalrez 版本最高 150℃ |
| 机械寿命 | ≥100 万次循环 |
| 电气选配 | 微动开关输出全开 / 全关信号；阀位反馈信号输出 |
| 配套控制器 | MGCS‑11（主力）、MG‑mini485 嵌入式控制器 |
典型应用场景（通用型）
- 小型光学 PVD、磁控溅射镀膜腔体作为主抽节流阀，搭配 MGCS‑11 + 电容薄膜规 PID 闭环，稳定溅射工艺压力，保障薄膜均匀性。
- 半导体研发 / 中试等离子、小型 ICP 刻蚀腔体中小腔体排气调压，补偿进气、泵抽压力波动；
⚠️8/12 寸先进制程量产 Fab，需要断电保持开度，优先选用GAR‑J100B 电动伺服带抱闸型号，G‑J100 更适合研发样机、中试设备。
- 高校科研真空实验平台、材料真空处理腔体实验室高真空系统压力闭环调节，设备布线简单，只需要接入压缩空气气源。
- 锂电中型脱气腔体、小型真空炉、等离子清洗腔体工艺段闭环稳压，失气弹簧全关保护工件。
标准闭环控制成套方案
系统组成：G‑J100 气动伺服蝶阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规工作流程：真空规采集腔体压力 → MGCS‑11 执行 PID 运算 →输出气控驱动信号调整 G‑J100 蝶板开度 →动态补偿泵抽、进气扰动，锁定工艺压力。MGCS‑11 支持 7 组 PID 参数存储，不同工艺工序自动切换，RS485 通讯对接上位 PLC。
选型区分（G‑J100 VS GAR‑J100B）
表格
| 项目 | G‑J100（气动伺服） | GAR‑J100B（电动伺服） |
|---|---|---|
| 驱动 | 压缩空气驱动，无电机 | 伺服电机直驱，带电磁抱闸‑B |
| 失气 / 断电状态 | 失气弹簧直接全关 | 断电抱闸，保持当前开度 |
| 适用定位 | 镀膜、研发中试、科研、锂电设备 | 半导体量产刻蚀、CVD 产线 |
| 布线 | 只需气源，无需电机供电 | 需要供电，电机线缆布置 |
供货与选型提示
供货状态：G‑J100 为 G 系列通用流通型号，常备部分原装现货；CF 法兰、Kalrez 密封定制款日本原厂订货；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。
选型避坑：不可与开关蝶阀 B‑J100 混淆；B‑J100 仅开关功能，无开度调节，不能做闭环压力控制。
提示：市场存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。
