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MIYUKI 美幸辉 G‑J200 JIS DN200气动伺服真空控制蝶阀玉科原装供应
更新时间：2026-08-26
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MIYUKI 美幸辉 G‑J200｜JIS DN200 气动伺服真空控制蝶阀（气源驱动闭环）
原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司品牌负责人：林经理地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
型号：G‑J200，JIS DN200（200A）气动伺服调节蝶阀G 系列纯气源驱动伺服调节阀，无需伺服电机供电，0‑90° 全行程无级开度调节；中等大通导，适配镀膜、等离子刻蚀腔体主抽管路 PID 闭环稳压，设备布线简单，广泛用于光学 PVD、溅射、半导体中试刻蚀、面板镀膜腔体压力控制。
型号释义
G：G 系列 气动伺服调节蝶阀（气源驱动闭环，非电动）
J：JIS B2290 日标法兰
200：公称通径 DN200（200A）
可定制更换法兰：ISO‑F、CF 刀口法兰；密封可选 Kalrez 全氟醚抗等离子腐蚀密封。
结构与工作原理
驱动：纯气动伺服机构，无电机
依靠 0.4‑0.6 MPa 洁净干燥无油压缩空气驱动；内置阀位反馈电位器，输出阀位信号，外接MGCS‑11 真空压力控制器组建完整 PID 闭环系统，自动调节蝶板开度稳定腔体工艺压力。
安全机制：单作用弹簧复位，失气自动全关
气源丢失弹簧强制关闭阀门，阻断泵组‑腔体通路，防止大气倒灌污染基板、晶圆，满足产线安全联锁。注意：无断电抱闸，失气直接全关，不能维持当前开度。
超薄大通导阀体
薄型法兰面间尺寸，流导高，抽气阻力小；无流向限制，水平、垂直、倾斜任意角度均可安装。
球面多点双向压紧密封
正向、反向压差均可维持低泄漏；启闭摩擦小，低发尘，适配镀膜、等离子工艺洁净要求。
出厂检测：百级洁净室装配，逐台氦质谱检漏。
完整技术参数
表格
| 项目 | G‑J200 JIS DN200 参数 |
|---|---|
| 公称通径 | DN200（200A），JIS B2290 法兰 |
| 压力工作区间 | 1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁶Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂 |
| 驱动气源 | 0.4‑0.6 MPa，干燥洁净无油压缩空气；弹簧复位失气关闭 |
| 开度调节 | 0‑90° 连续无级调节；阀位反馈输出，对接 MGCS‑11 闭环控制 |
| 过流材质 | 阀体、蝶板 SUS304，内腔电解抛光 EP，低放气低颗粒析出 |
| 标准密封 | FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等离子腐蚀 |
| 烘烤温度 | FKM 密封最高 120℃；Kalrez 版本最高 150℃ |
| 机械寿命 | ≥100 万次循环 |
| 电气选配 | 微动开关输出全开 / 全关信号；阀位反馈信号输出 |
| 配套控制器 | MGCS‑11（主力）、MG‑mini485 嵌入式控制器 |
镀膜 / 刻蚀腔体典型应用场景
- 光学 PVD、磁控溅射镀膜腔体作为主抽节流阀，搭配 MGCS‑11 + 电容薄膜规 PID 闭环，稳定溅射工艺压力，抑制压力波动，保障薄膜厚度均匀性，降低膜层针孔、色差不良。
- 半导体中试刻蚀、ICP 等离子腔体用于研发机台、中试线刻蚀腔体排气调压；补偿进气、泵抽波动，稳定等离子工作压力。
⚠️ 先进制程 8/12 寸量产 Fab，对断电保开度、极低颗粒严苛工况，优先选用GAR‑J200B 电动伺服带抱闸型号；G‑J200 气源驱动适合中试、镀膜、面板产线。
- 面板中小尺寸镀膜腔体、反应离子清洗腔体中等口径腔体排气节流，气源条件充足，不想布置电机线缆，简化设备布线。
- 真空炉、锂电脱气腔体闭环稳压兼顾粗抽到高真空工艺段，失气弹簧全关保护工件。
标准闭环控制成套方案
系统组成：G‑J200 气动伺服蝶阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规工作流程：真空规采集腔体压力 → MGCS‑11 执行 PID 运算 → 输出气控驱动信号调整 G‑J200 蝶板开度 →动态补偿泵抽、进气扰动，锁定工艺压力。MGCS‑11 支持 7 组 PID 参数存储，不同工艺工序自动切换，RS485 通讯对接上位 PLC。
选型区分（G‑J200 VS GAR‑J200B）
表格
| 项目 | G‑J200（气动伺服） | GAR‑J200B（电动伺服） |
|---|---|---|
| 驱动 | 压缩空气驱动，无电机 | 伺服电机直驱，带电磁抱闸‑B |
| 断电状态 | 失气弹簧直接全关 | 断电抱闸，保持当前开度 |
| 适用定位 | 镀膜、中试刻蚀、面板设备 | 半导体量产刻蚀、CVD、ALD 产线 |
| 布线 | 只需气源，无需电机供电 | 需要供电，电机线缆布置 |
供货与选型提示
供货状态：G‑J200 属于流通主力伺服阀，部分库存；特殊密封、CF 法兰版本日本原厂订货；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。
选型避坑：请勿与普通开关蝶阀 B‑J200 混淆；B‑J200 仅开关，无开度调节功能，不能做闭环压力控制。
提示：市场存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌及原厂检测资料。
