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更新时间:2026-07-27
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| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 结构形式 | 双级旋片、直联驱动 |
| 电机功率 | 400 W(4 极电机) |
| 50Hz 抽速 | 135 L/min |
| 60Hz 抽速 | 162 L/min |
| 极限真空(气镇阀关闭 GV Closed) | 0.67 Pa |
| 极限真空(气镇阀开启 GV Open) | 6.7 Pa |
| 进气法兰 | KF25 |
| 排气接口 | G1 螺纹 |
| 标准真空泵油 | ULVAC SMR-100 / ULVOIL R-7 |
| 注油量 | 1000 mL |
| 整机重量 | 26 kg |
| 外形尺寸 | 170(W) × 485.5(L) × 240(H) mm |
| 噪音 | ≤57 dB (A)(1 米距离,极限真空工况) |
| 工作环境温度 | 7~40℃(低温环境启动性能下降) |
| 供电可选 | 单相 220V / 三相 380V(按电机铭牌区分) |
真空设备配套:溅射、蒸发镀膜机分子泵前级泵
理化实验室:真空干燥、冷冻干燥、脱泡装置
分析仪器:扫描电镜、电子探针、色谱质谱设备
小型半导体、MEMS 封装设备真空工位
空调、制冷行业管路抽空
GLD-137CC:日本本土原厂整机进口
GLD-N137:爱发科国内工厂组装,性能指标一致,交期更短、价格更优
二者配件(旋片、油封、油雾过滤器)通用。
气体限制:适合干燥洁净空气、氮气;禁止长时间抽吸强酸、卤素、大量粉尘、硅蒸气,会腐蚀旋片造成磨损。
水汽工况:持续开启气镇阀;定期更换真空泵油,避免油乳化失效。
维护周期参考
常规洁净工况:6000~8000 小时更换真空油
含溶剂 / 水汽工况:缩短至 3000 小时换油
旋片、密封套件建议 12000 小时检查更换
选配推荐:排气口加装油雾过滤器,减少油烟污染环境;进气端加装粉尘过滤器。