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更新时间:2026-07-27
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型号后缀含义:S = 单相电源规格;同系列 CR60B-T 为三相款(二者抽速一致的,极限真空、供电不同,不可直接互换)
工作原理:多级三叶罗茨非接触式压缩结构,泵腔内部无真空油,输出洁净真空;整机强制风冷,无需冷却水、无需轴封氮气供给,安装基建成本低。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 50Hz 抽速 | 55 m³/h(920 L/min) |
| 极限真空(无气镇) | ≤3.0 Pa |
| 极限真空(开启气镇) | ≤6.0 Pa |
| 电机 | 1.5kW 永磁 DC 密封电机 |
| 稳态功耗(极限真空) | 0.9 kW |
| 供电规格 | 单相 AC200~240V 50/60Hz ⚠️重点区分 CR60B-T 三相款 |
| 吸气 / 排气法兰 | KF40 |
| 最大容许水蒸气处理量 | ≤500 g/h(必须开启气镇阀) |
| 整机尺寸 | 550(L) × 210(W) × 430(H) mm |
| 整机重量 | 48 kg |
| 噪音 | 约 65 dB (A)(距离 1m) |
| 润滑油 | BARRIERTA J100F E,加注量 140cc(仅齿轮箱润滑,不接触真空腔) |
| 标准配置 | 进气过滤器、气镇阀、移动脚轮、远程通讯接口 |
| 认证 | CE、cTUVus |
| 型号 | 供电 | 无气镇极限真空 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| CR60B-S | 单相 200V | ≤3.0 Pa | 实验室设备、小型量产设备、现场仅有单相电源 |
| CR60B-T | 三相 200V | ≤0.5 Pa | 连续量产镀膜、高精度真空工艺 |
外形、管路接口、抽速一致,电源与极限真空是核心差异,采购务必确认供电条件。
真空镀膜:溅射、真空蒸发设备分子泵前级粗抽泵
真空干燥、脱泡、小型腔体负压工艺
等离子清洗、材料表面处理设备
分析仪器、半导体中小型真空工位
MEMS、传感器封装制程配套真空机组
适用气体:仅限洁净空气、氮气等惰性气体;禁止抽吸卤素、强酸、大量粉尘、硅蒸汽,易造成转子磨损腐蚀;腐蚀性工况请选用 ULVAC HR 系列防腐干泵。
抽吸水汽时,必须持续打开气镇阀,防止水汽凝结在齿轮箱。
常规维护周期:
进气过滤器:根据粉尘情况定期清洁 / 更换
齿轮箱润滑油:建议 8000 小时更换
启动条件:可直接大气压启动,不需要前置初级泵。
六、 采购渠道
玉崎科学仪器(深圳)有限公司 原装现货供应
地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
项目负责人:林经理