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ULVAC 爱发科 DIS-90 涡旋干式真空泵 产品介绍 玉崎科学仪器原装现货
更新时间：2026-07-28
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ULVAC 爱发科 DIS-90 涡旋干式真空泵 产品介绍 玉崎科学仪器原装现货
一、基础概述
品牌型号：ULVAC（日本爱发科）DIS-90泵类型：双绕式涡旋干式真空泵（无油干泵）采用一级动涡旋 + 两级定涡旋复合涡旋结构；动、静涡旋盘非接触运转，泵腔内部无润滑油，属于洁净型干式机械泵；可直接从大气压启动，常作为分子泵前级泵，是实验室、精密设备小型真空主力干泵。
二、核心技术规格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 抽气速度 | 50Hz：90 L/min；60Hz：108 L/min |
| 极限压力 | ≤5 Pa |
| 电机规格 | 单相 100/115/200/230V，150W，4 极电容启动 |
| 吸气接口 | KF25 |
| 排气接口 | KF16 |
| 外形尺寸 | 214(W)×308(L)×225(H) mm |
| 整机重量 | 14 kg |
| 冷却方式 | 风冷（无需冷却水） |
| 噪音 | ≤52dB（开启空气冲洗 AF）；≤57dB（关闭 AF） |
| 环境温度 | 5～40℃，室内使用 |
| 标配功能 | 内置运行计时表、自动复位热保护器、Air Flush 空气吹扫接口（Rc1/8） |
| RoHS 认证 | 支持 |
三、工作原理
偏心驱动轴带动动涡旋盘做圆周平动，与固定涡旋盘形成连续变化的密闭压缩腔；气体由外周吸入，逐级向中心压缩排出；无油、无金属摩擦接触，不产生油雾污染，获得洁净真空。
四、产品核心特点
✅ 无油洁净真空泵腔不含润滑油，无返油风险，不会污染腔体、样品、光学元件，优于油旋片泵。✅ 风冷小型化，安装灵活无需水冷，体积小巧、自带提手，便于设备内置集成、实验室移动使用。✅ 低振动、低噪音涡旋运转平稳，振动远小于活塞式干泵（DOP 系列），适合精密分析仪器。✅ 自带空气吹扫（AF）功能通入少量干燥空气吹扫泵腔，抑制水汽凝结，轻微提升耐水汽能力。✅ 运维可视化标配运行小时计，便于记录时长、规划密封件保养周期；内置过热保护。✅ 大气压可连续启动宽压力区间稳定运行，可直接作为分子泵（TMP）标准前级泵。
五、典型应用场景
分析仪器：氦气检漏仪、质谱仪、SEM 扫描电镜、表面分析设备前级泵
光学 / 半导体小型设备：小型镀膜、Load-Lock 预抽、晶圆小型真空载台
实验室真空：小型真空腔体、样品脱气、真空干燥、气体回收系统
通用精密设备：小型等离子设备、科研真空实验装置
六、重要使用注意事项
工况限制
不可抽吸大量粉尘、有机溶剂蒸汽、强酸、卤素、液态水；仅允许微量水汽，长时间含水工况必须持续开启空气吹扫。
进气建议
进气前端务必加装粉尘过滤器，固体颗粒会刮伤涡旋密封面，造成极限真空恶化。
对比选型参考
DIS-90：涡旋干泵，极限真空 5Pa，低噪洁净，适合分子泵前级、精密仪器；
DOP-301SB：摇动活塞干泵，抽速更大、极限真空仅数千 Pa，适合粗真空吸附；
LS120A：螺杆干泵，大抽速、水冷，面向工艺腔体。
七、 采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
项目负责人：林经理
