EBARA 日本荏原 EV-S 系列多级罗茨干式真空泵玉崎科学仪器原装现货

更新时间：2026-06-04

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EBARA 日本荏原 EV-S 系列多级罗茨干式真空泵（原装日本进口・轻载节能款）

一、产品概述

EV-S 为无油多级罗茨干式真空泵，荏原主打轻制程、全风冷、超低功耗机型，对标腔体预抽、Load Lock、PVD / 镀膜、LED、光伏、实验室洁净工况；分标准版、P 氮气吹扫款、N 镍基耐腐款，满足洁净→微量腐蚀气体工况，全系列标配风冷、无需冷却水，50/60Hz 电源抽速恒定不受频率影响，通过 SEMI-S2、CE、NRTL 半导体安全认证。

定位区分：EV-S = 轻载罗茨（风冷省电）；EV-X = 中载螺杆（温控耐腐）；EV-M = 重载强腐蚀

二、全系列型号 + 核心参数（主流 5 款）

机型	抽速 (L/min/m³/h)	极限真空 (Pa)	额定功率	进气口径	整机重量	冷却
EV-S20	1670/100	≤3.0	0.45kW	KF40/DN40	62kg	全风冷
EV-S30	3300/198	≤2.0	0.45kW	DN40	88kg	全风冷
EV-S50	5000/300	≤0.5	0.55kW	DN50	142kg	全风冷
EV-S100	10000/600	≤0.5	2.2kW	DN50	175kg	全风冷
EV-S200	20000/1200	≤0.5	3.7kW	DN65	258kg	风冷 / 可选水冷

后缀含义

基础款（无后缀）：泵腔镀 Ni-P 化学镍，洁净无腐蚀气体，无需氮气吹扫，日常氮气耗量≈0、运行成本低
P 款：内置多路 N₂氮气反吹接口，防止水汽、微量粉尘凝结，适配轻度腐蚀、含水蒸气工艺
N 款：转子 / 泵腔镍基合金基材 + PTFE 特氟龙涂层，P+N 双配置，弱酸、卤素微量腐蚀工况专用

三、产品核心优势

超低能耗（主打卖点）
搭载直流变频电机，空载休眠 / 怠速降功率，极限真空工况自动降转速，同抽速比传统干泵省电 30%~45%；洁净工艺不用持续通氮气，大幅降低 N₂用气成本。
小型轻量化 + 全风冷免水冷
整机紧凑占地小，全系标配内置强制风冷，不用外接冷却水、不用配套冷水机，设备机房布线简单、基建投入低。
运行稳定低噪
非接触罗茨转子结构，无磨损、振动小，运行噪音≤60dB (A)，适合洁净车间、实验室环境。
智能电控系统
机身 LCD 可编程控制面板，集成温度、过载、进气压力、振动传感器，故障预警、运行数据存储；标配 Modbus-RTU 通讯，可对接产线 PLC 远程联控启停、数据采集。
材质灵活选配
标准镀镍、镍基合金、特氟龙防腐三层方案，从轻洁净→微腐蚀全工况覆盖。

四、结构与原理

泵型：多级串联罗茨转子、无油干式压缩，腔体全程无润滑油，真空无油污染、洁净度高；转子间隙精密优化，大气压直抽高真空，不用前级泵串联。
标准材质：转子球墨铸铁 + Ni-P 镀镍；N 防腐款：镍基合金 + 内腔 PFA/PTFE 涂层，耐 HF、HCl 微量酸性气体。

五、选配配件

氮气吹扫总成（P/N 机型标配）、气镇阀（提升含水蒸气工况排水能力）
排气消音器、粉尘捕集罐、冷凝回收罐
变频调速模块、远程控制柜、排气油雾过滤器

六、应用行业（选型指引）

1、EV-S20/S30（小抽速）

Load Lock 腔体预抽、SEM 电镜、质谱仪器、小型 PVD 溅射、实验室镀膜、半导体设备锁仓、锂电小型封装脱泡。

2、EV-S50/S100（主力爆款）

LED 芯片制程、光伏小片镀膜、光学薄膜蒸镀、中小型 PVD、液晶面板真空腔体、晶圆传送腔预抽。

3、EV-S200（大抽速）

量产线集中预抽系统、中大腔体镀膜、光伏整线真空、中小型 CVD 洁净制程。

❗选型区分：洁净无水汽→基础款；含水汽微量粉尘→P 款；含弱酸 / 卤素气体→N 款

七、采购渠道

玉崎科学仪器（深圳）有限公司原装现货供应

地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

项目负责人：林经理

EBARA 日本荏原 EV-S 系列 多级罗茨干式真空泵玉崎科学仪器原装现货

EBARA 日本荏原 EV-S 系列 多级罗茨干式真空泵（原装日本进口・轻载节能款）