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EBARA 日本荏原 EV-M 系列 重载耐腐多级罗茨干式真空泵玉崎科学原装现货
更新时间：2026-06-04
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EBARA 日本荏原 EV-M 系列 重载耐腐多级罗茨干式真空泵（原装日本进口・重制程旗舰款）
EV-M正面实拍
一、产品定位概述
EV-M 是荏原全系列最高负载、强腐蚀专用水冷干式罗茨真空泵，对标半导体重腐蚀蚀刻、LPCVD/HDP-CVD/MOCVD/ALD等高副产物、含卤素酸性气体严苛工况，区别：
EV-S：轻载风冷、洁净 / 微量腐蚀
EV-X：中载螺杆、通用蚀刻 CVD
EV-M：重载水冷、强腐蚀 + 大量粉尘副产物制程
全机型标配水冷 + 内置分区伴热温控 + 标准防腐材质，全系列无油干式，50/60Hz 频率下抽速恒定，取得 SEMI-S2、CE、NRTL 半导体安全认证，日本原厂整机进口
二、全系列主流型号参数（N = 标准防腐款、SF = 强防腐特氟龙款）
| 型号 | 标称抽速 (L/min) | 极限真空 (Pa) | 极限功率 (kW) | 冷却 | 进水流量 (L/min) | 进气法兰 | 整机重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| EV-M20N | 108~130 | ≤5.0 | 1.2 | 水冷 | 3~5 | KF40 | 55 |
| EV-M102N | 10000 | ≤0.5 | 1.8 | 水冷 | 3~8 | ISO80 | 320 |
| EV-M202N | 20000 | ≤0.5 | 1.9 | 水冷 | 3.5~8 | ISO100 | 360 |
| EV-M302N | 30000 | ≤0.5 | 2.3 | 水冷 | 4~8 | ISO100 | 400 |
| EV-M502N | 50000 | ≤0.5 | 2.1 | 水冷 | 5~8 | ISO100 | 500 |
| EV-M802N | 80000 | ≤0.5 | 2.8 | 水冷 | 5~8 | ISO160 | 740 |
| EV-M1202N | 110000 | ≤1.0 | 4.5 | 水冷 | 6~10 | ISO200 | 980 |
SF 系列：EV-M505SF/805SF，内腔全 PFA 特氟龙涂层，强耐 HF、高浓度氯系腐蚀气体。
三、五大核心产品优势
1、腔体伴热控温
泵腔分段独立温控伴热，整机高温恒温运行，杜绝 NH₄Cl、SiO₂、金属盐副产物冷凝粘附泵腔，大幅延长保养周期 3~5 倍，解决重制程堵泵通病。
2、出厂标配防腐结构
N 标准款：转子 / 腔体镍基合金 + Ni-P 化学镍镀层，原生耐受 HF、HCl、Cl₂、NF₃、硅烷等半导体腐蚀尾气；
SF 高配款：内腔全特氟龙 PFA 涂层，适配超高浓度强酸、强腐蚀工艺。
3、重载大流量 + 氢气抽气优异
多级非接触罗茨结构，H₂氢气抽气效率远优于螺杆泵（EV-X），适配 MOCVD、半导体外延、ALD 富氢制程；大气压直抽，无需前级泵串联。
4、智能变频节能
搭载荏原自研怠速休眠控制，空载 / 待机自动降转速降功耗，重负载满功率输出，同工况比传统干泵省电 30%+；自带故障自诊断、运行数据存储。
5、紧凑水冷小型化
整机集成水冷回路，无需外置独立油箱，占地面积小于同抽速竞品，适配 Subfab 紧凑机房布局，运行噪音 65~72dB (A)。
四、后缀规格释义
N（标准防腐）：市面主流现货，内置多路 N₂氮气反吹通道，标配防粉尘吹扫，常规蚀刻 / PECVD ；
SF强防腐：全腔体 PFA 特氟龙内衬、加强氮气多路吹扫，高浓度、强碱腐蚀专用；
无后缀基础款：普通镀镍，仅洁净无腐蚀气体，极少备货。
五、可选配套配件
多路氮气吹扫总成（N/SF 标配）、气镇阀（高水汽工况）；
前置粉尘捕集罐、冷凝回收罐、排气洗涤过滤器；
Modbus-RTU 通讯模块（对接产线 PLC 远程联控）、独立外置水冷机组。
六、细分应用行业（选型指引）
1、EV-M20N/M102N（小抽速）
小型 ALD 设备、RTP 快速热处理、实验室 MOCVD、小腔体 LPCVD
2、EV-M202/302N（爆款主力）
量产线干法蚀刻、PECVD、SACVD、LED 芯片外延、光伏管式 PECVD
3、EV-M502/802/1202N（大流量重载）
HDP-CVD、大功率 MOCVD、第三代半导体 SiC/GaN 外延、面板量产线集中真空系统
七、EV-M / EV-S / EV-X 三系列简明选型对照表
| 机型 | 泵结构 | 冷却 | 适用工况 |
|---|---|---|---|
| EV-S | 多级罗茨 | 全风冷 | 洁净 / 微腐蚀、LoadLock、PVD 预抽（轻载） |
| EV-X | 干式螺杆 | 风冷 / 水冷 | 常规蚀刻、CVD、灰化（中载通用） |
| EV-M | 重载罗茨 | 全水冷 | 强腐蚀、大量副产物、MOCVD/ALD（重载重腐蚀） |
八、采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
项目负责人：林经理
