EBARA 日本荏原 EST 系列高温防腐螺杆干式真空泵玉崎科学原装现货

更新时间：2026-06-04

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EBARA 日本荏原 EST 系列高温防腐螺杆干式真空泵（原装日本进口・重载强腐蚀螺杆旗舰）

一、产品定位概述

EST 为全水冷高温螺杆式干泵，荏原重工级强腐蚀机型，对标高粉尘、强酸卤素、大量固态副产物的 CVD/ALD/ 蚀刻重制程；产品线区分：

EV-S：风冷罗茨、洁净轻载
EV-X：中小型螺杆、通用中腐蚀
EV-M：水冷罗茨、富氢重载
EST：水冷螺杆、高温恒温 + 抗堵 + 强防腐（粉尘 / 高浓度腐蚀）
全系列日本原厂整机，通过SEMI-S2、CE、NRTL半导体安全认证，50/60Hz 电源抽速恒定不变荏原製作所。

二、全系列主流型号 + 核心参数

型号	抽速 (L/min)	极限真空 (Pa)	额定功率 (kW)	冷却	进水流量 (L/min)	进气法兰	整机重量 (kg)
EST10N	1000	≤2.7	2.3	标配水冷	5~8	KF40/NW40	150
EST25N	2500	≤0.4	3.0	水冷	5~8	KF40/NW40	180
EST100WN	10000	≤0.4	5.5	水冷	5~8	DN50	330
EST200WN	20000	≤0.4	7.5	水冷	5~8	ISO100	420
EST300WN	30000	≤0.4	11.0	水冷	5~8	ISO100	510
EST500WN	50000	≤0.4	15.0	水冷	6~10	ISO160	680
EST800WN	80000	≤0.5	22.0	水冷	6~10	ISO200	920

后缀含义

N：标准防腐（Ni-P 镀镍腔体 + 多路氮气吹扫），常规 HCl、Cl₂、硅烷制程；
WN：加强防腐（转子镍基合金 + 腔体 PFA 特氟龙内衬），HF 、高浓度卤素、大量粉尘副产物专用。

三、五大核心产品优势（EST 核心卖点）

1、整机分段伴热恒温系统

泵腔全段独立电伴热，整机高温恒温运行，从根源防止 NH₄Cl、SiO₂、金属盐粉尘冷凝结块堵泵，保养周期是普通干泵 2~4 倍，解决 CVD/ALD 堵泵痛点。

2、螺杆转子 + 超大粉尘容纳腔体

同步精密非接触螺杆结构，腔体容积加大，可耐受大量固态副产物吸入，粉尘通过能力＞EV-M 罗茨泵，粉尘多的外延、LPCVD 。

3、全规格标配防腐基材

N 款内腔镀化学镍；WN 款转子镍基合金 + 全腔体 PFA 特氟龙涂层，耐受 HF、强碱、含氟强腐蚀尾气荏原製作所。

4、智能变频 + 整机 PLC 电控

机身 LCD 可编程控制面板，空载怠速降功率节能 35%+；内置温度、进气压力、振动、过载全传感器，故障预警、运行日志存储；标配 Modbus-RTU，可远程对接产线 PLC 联控启停。

5、全水冷稳定温控

全系强制水冷，进水≤30℃即可，高温工艺、长时间满载连续运行不超温，适配 7×24h 量产线工况，运行噪音≤65dB (A)。

四、结构原理

无油干式双螺杆容积压缩，泵体内无润滑油，真空无油污染；转子高精度间隙、非接触运转无磨损，大气压直抽中高真空，无需前级泵串联；多路分布式氮气反吹，防止腐蚀性气体腐蚀转子腔体。

五、选配配件

多路 N₂氮气吹扫总成（N/WN 标配）、气镇阀（高含水蒸气工艺）；
前置粉尘捕集罐、冷凝回收罐、排气洗涤塔；
独立外置冷水机组、远程控制柜、排气消音器。

六、行业选型应用

1、EST10N/EST25N（小机型）

实验室 ALD、RTP 快速热处理、小型 LPCVD、第三代半导体 SiC/GaN 研发设备

2、EST100/200WN（主力爆款）

量产线干法蚀刻、PECVD、SACVD、LED 芯片外延、光伏管式 PECVD

3、EST300/500/800WN（大抽速）

HDP-CVD、MOCVD 量产线、面板集中真空、大功率 ALD 量产线（高粉尘高腐蚀）EBARA

七、EST / EV-S / EV-X / EV-M 四系列选型速查表

机型	泵结构	冷却方式	核心适用工况
EV-S	多级罗茨	全风冷	洁净 / 微腐蚀、LoadLock、PVD 预抽（轻载）
EV-X	小型螺杆	风冷 / 水冷	常规蚀刻、普通 CVD、少量副产物（中载）
EV-M	重载罗茨	全水冷	富氢 MOCVD、LPCVD、氢气多、粉尘中等（重载）
EST	高温螺杆	全水冷	高粉尘 + 高浓度强酸 / 卤素、大量副产物 CVD/ALD（极重载强腐蚀）

八、采购渠道

玉崎科学仪器（深圳）有限公司原装现货供应

地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

项目负责人：林经理

EBARA 日本荏原 EST 系列 高温防腐螺杆干式真空泵玉崎科学原装现货

EBARA 日本荏原 EST 系列 高温防腐螺杆干式真空泵（原装日本进口・重载强腐蚀螺杆旗舰）