什么是干式真空泵？

干式真空泵是非接触式真空泵，不使用油或液体进行密封。它们实现了无回流或水和油扩散的清洁真空。此外，不需要定期维护，如补充或更换水或油，操作非常简单。它是

半导体制造过程以及强调清洁度的太阳能电池制造过程中的干式真空泵是非接触式真空泵，不使用油或液体进行密封。它们实现了无回流或水和油扩散的清洁真空。此外，不需要定期维护，如补充或更换水或油，操作非常简单。它是

半导体制造过程以及强调清洁度的FPD/LED/太阳能电池制造过程中的泵。近年来，它们的应用范围扩大，因为它允许从质谱仪和电子显微镜等分析仪中轻松、清洁地排出气体。此外，由于清洁真空和方便的维护，它们正在被引入各种应用，如真空干燥过程和薄膜沉积过程。