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EBARA荏原EV-S20干式真空泵产品详情玉崎科学仪器深圳有限公司原装现货供应
更新时间：2026-06-03
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EBARA 荏原 EV-S20 干式真空泵完整产品详情 玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
EV-S20整机
EV-S20正面
一、三大细分型号区分（国内在售 3 款）
| 型号 | 配置说明 | 适用工况 |
|---|---|---|
| EV-S20（标准版） | 普通碳钢内腔、无氮气吹扫 | 洁净气体、实验室、SEM、镀膜 Loadlock、无腐蚀工艺 |
| EV-S20P | 标配N₂氮气吹扫装置、普通腔体 | 微量水汽、轻微腐蚀性挥发气体 |
| EV-S20N | 镍合金防腐腔体 + 内置氮气吹扫 | 弱酸 / 卤素腐蚀气体（HF、BCl₃、Cl₂）、半导体蚀刻、湿制程 |
二、核心技术参数（原厂标准）
抽气速率：1670 L/min（50/60Hz 通用，变频不受电网频率影响）
极限真空
EV-S20/20P：气镇 OFF=3Pa；气镇 ON=5Pa
EV-S20N：气镇 ON=5Pa
接口规格：进气 NW50、排气 NW25
功率：极限工况 0.4kW，满载额定 0.75kW
电源：三相 200～220V 50/60Hz
冷却方式：全风冷，无需接冷却水（核心卖点）
噪音：≤57dB(A)
整机尺寸 (W×D×H)：395×575×352mm
净重：65kg
三、产品结构与核心优势
1、结构：无油罗茨干式泵
无润滑油腔体、转子无接触间隙密封，全程洁净无油雾、不污染腔体样品，不用更换真空泵油、油过滤器。
2、节能设计
自带怠速休眠变频，腔体到达设定真空自动降转速，同规格比国产干泵省电 30%；直流驱动，50/60Hz 抽速一致。
3、电控系统
机身自带 LCD 智能控制面板：故障代码报警、运行履历存储、可编程联锁、RS485 通讯接口（对接设备 PLC），符合SEMI-S2、CE、NRTL 工业安全标准。
4、安装便捷
纯风冷无需水冷管路，落地小型化，实验室 / 设备机台内置均可安装。
四、适用行业 & 设备（国内热销场景）
科研实验室：SEM 扫描电镜、X 射线荧光仪、质谱仪、镀膜机预抽
半导体：Loadlock 真空腔、小型 CVD、中小腔体刻蚀、晶圆转运预真空
光电 / LED / 光伏：芯片封装、小型蒸镀、锂电材料真空预处理
化工医药：溶剂蒸馏、药品真空干燥（20N 防腐款）
五、选型快速建议
洁净无腐蚀：选EV-S20（性价比高，国内常规备货主力）
含水汽、少量有机溶剂：选EV-S20P（氮气吹扫）
酸性、卤素腐蚀性废气：选EV-S20N（镍防腐 + 吹扫）
六、日常维护
无机油更换，仅年度清理进气滤芯，维保成本极低。
七、 采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
项目负责人：林经理
