玉崎科学仪器（深圳）有限公司  原装现货直发

日本荏原 EBARA 国内热销真空泵主力型号（分干式干泵 <主力热销>、水环液环泵两大类，按市场出货量排序）

一、小型实验室 / 仪器级（华南、长三角仪器、科研、半导体 LoadLock 走量最高）

1. EV-SA20 / EV-S20P/N（爆款单品）

   风冷免水冷、小型无油，EV-S20N 耐蚀镍材款、S20P 氮气吹扫款；质谱、SEM、小型镀膜、实验室常年备货，国内小真空配套销量榜。

2. ESR20N、ESR30N

   紧凑型防腐干泵，轻腐蚀工艺、小型半导体设备标配，锂电、化验设备量大荏原製作所。

3. EV-A10-2S

   单相 220V 小螺杆干泵，替换旋片油泵，高校实验室、小型镀膜机热销。

二、中小制程工业干泵（半导体、锂电、光伏主流走量款）

1. EV-PA500

   空冷中型干泵，锂电真空干燥、医药、小型 PECVD 爆款，无需水冷安装便捷，近几年国产锂电产线标配采购量大。

2. EV-X30N/X50/X100N/X200N（EV-X 新一代主力全系列）

   EV-X 是荏原现阶段国内销量主力系列：

• X30N（3000L/min）：中小型 Loadlock

• X100N（10000L/min）：刻蚀、CVD 中小型设备

• X200N（20000L/min）：光伏、碳化硅产线主力采购型号，节能防腐、占地小。

3. ESR500W

   中流量防腐机型，电镀、化工真空、湿法制程常年出货。

三、中大流量量产级（面板、光伏、半导体大厂大批量采购）

1. EV-M20N、M102N、M202N、M302N

   EV-M 重载罗茨干泵，半导体量产线、大腔体镀膜、LCD 工厂标配；M102N/M202N 国内建厂配套刚需型号。

2. ESA80W‑HDF、ESA100W、ESA200W、ESA300W

   ESA 轻气体专用（氢气 / 氦气），MO-CVD、光伏、显示行业爆款；ESA80WN 是第三代半导体、外延设备通用泵，国内碳化硅产线采购激增。

四、工业通用水环式真空泵（通用化工、塑胶、冶金民用市场）

1. 40DX、50DX、80DX（DX 系列水环）：荏原经典液环泵，注塑、化工抽气、污水处理国内存量最大；

2. 250×、320× 大型水环：造纸、矿山真空脱水批量采购型号。

五、新品热销款

行业选型速记

• 实验室 / 仪器：EV-S20、ESR20N、EV-A10

• 锂电 / 医药：EV-PA500、EV-X50/X100

• 半导体 / 光伏量产：EV-X200N、EV-M 全系列、ESA80W

• 通用化工：DX 水环全系列

六、采购渠道

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地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

项目负责人：林经理