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EBARA 日本荏原 EV-X 系列 干式螺杆真空泵全产品详情玉崎科学仪器原装现货
更新时间：2026-06-04
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EBARA 日本荏原 EV-X 系列 干式螺杆真空泵全产品详情
EV-X 是荏原新一代中负荷紧凑型无油干式真空泵，替代老款 EV-M/EV-S 系列，主打小型化、超节能、一机多用、耐半导体制程腐蚀，专为半导体、光伏、面板镀膜严苛工况开发，符合 SEMI-S2 工业规范，全系列日本原装。结构形式：多级非接触式螺杆复合转子、全干式无油润滑。
二、全系列主力型号核心参数（50/60Hz 通用）
| 型号 | 标称抽速 | 极限真空 | 主电机功率 | 冷却方式 | 进气法兰 | 整机重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| EV-X30N | 3000L/min（180m³/h） | ≤0.1Pa | 2.2kW | 全风冷 | DN40 | 72kg |
| EV-X100N | 10000L/min（600m³/h） | ≤0.1~0.5Pa | 4.0kW | 全风冷 | DN50 | 128kg |
| EV-X200N | 20000L/min（1200m³/h） | ≤0.2~0.5Pa | 7.5kW | 风冷 / 水冷可选 | DN65 | 215kg |
| EV-X300N | 30000L/min（1800m³/h） | ≤0.5Pa | 11kW | 标配水冷 | DN80 | 320kg |
备注：N = 标准耐腐蚀标配机型，另有 CR 耐强酸氟化气体定制款
三、五大核心产品优势
极小型化，占地缩减 30%~38%
同抽速体积远小于 EV-S/EV-M，Subfab 机房密集排布优势明显，机台内嵌安装友好。
IE5 高效电机，节能 25%~50%
空载低真空自动降功率运行，极限真空待机功耗仅 0.9~1.5kW，大幅降低工厂电费；50/60Hz 自适应变频，出口 / 国内通用电压 3φ200~220V。
全机温控防凝设计，适配中重腐蚀制程
泵体分段恒温伴热，抑制 SiO₂、有机副产物凝结结块；标准泵腔 316L 不锈钢，可选镍基防腐内衬（HF、Cl₂、F 系蚀刻气体专用）。
模块化集成、易维护
整机零件精简，常规保养仅更换进气滤芯、排气滤芯，保养周期≥8000h，备品通用性强、维保成本低。
智能电控系统
自带一体式控制面板：温度、电流、过载、缺水、堵转故障报警，标配无源触点，可直连设备 PLC 远程启停联锁。
四、版本选配区分
标准版 EV-X□□N（常规）：全风冷、316L 泵体，适配 PVD 溅射、Loadlock 预抽、灰化、普通 CVD
CR 耐腐蚀定制版：内壁耐氟 / 氯强酸涂层，用于干法蚀刻、HDP-CVD、离子注入尾气
HT 高温款：全泵体加强伴热，高粉尘、高溶剂冷凝工况专用
水冷款（X200/X300 选配）：大功率连续满载、高温环境使用，散热更稳定
五、主流应用行业
1. 半导体晶圆（主力场景）
干法蚀刻、PECVD/HDP-CVD、溅射 PVD、离子注入、灰化除胶、Loadlock 腔体预抽、检测设备 SEM/XPS 前级真空
2. 光伏 & LED
电池片 PECVD 镀膜、干法边缘蚀刻、MiniLED 溅射腔体抽气
3.FPD 面板
OLED/LCD 蒸镀、小型腔体预抽真空
4. 通用工业
真空镀膜、冻干、脱泡、实验室科研真空设备
六、 采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
项目负责人：林经理
