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跨境现货Yamato雅马拓等离子反应堆
产品简介:

跨境现货Yamato雅马拓 PR510 等离子反应堆
跨境现货Yamato雅马拓等离子反应堆

产品型号:PR510

更新时间:2026-01-05

厂商性质:代理商

访问量:117

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产品介绍

跨境现货Yamato雅马拓等离子反应堆

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等离子反应堆

PR100(质量流量计规格)

产品概述

用于晶圆光刻胶的桶型高频低温等离子体

等离子反应器的特点(PR510(质量流量计规格))

特征

这是一台标准型桶式低温等离子设备。它是一款紧凑型桶式等离子处理设备,标配自动匹配机构,并采用触摸屏(PR510),以提高操作性和安全性。

产品特性

配备大直径(φ215mm)石英腔室

产品特性

紧凑型,集成振荡器和腔室单元

产品特性

易于操作的触摸面板系统(PR510 型)

目的

●光刻胶去除
●部件清洗
●表面活化处理
●微抛光
●兼容晶圆和玻璃基板

主要规格

规格


产品代码215012
模型PR510(质量流量计规格)
方法DP枪管类型
控制单元高频输出功率 500 瓦
控制单元振荡频率13.56MHz
控制单元同步方法自动调校
反应段反应罐由石英制成,直径215毫米,厚度305毫米。
反应段反应气体系统2 个系统(O 2 /CF 4
反应段控制系统触摸面板自动序列
反应段管道材料SUS,特氟龙
外形尺寸和重量请参阅规格说明
内部尺寸(直径 x 深度)φ215×305mm
外部尺寸(宽 x 深 x 高)520×630×760毫米
功率容量三相交流200V 8A
断路器容量和15A电源容量
重量70公斤





我司代理及优势品牌一览明细:

代理品牌:CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽

优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪,离心机等



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