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产品型号：PR500
更新时间：2026-01-05
厂商性质：代理商
访问量：26
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原装跨境Yamato雅马拓等离子反应堆
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用于晶圆光刻胶的桶型高频低温等离子体
这是一台标准型桶式低温等离子设备。它是一款紧凑型桶式等离子处理设备，标配自动匹配机构，并采用触摸屏（PR510），以提高操作性和安全性。
配备大直径（φ215mm）石英腔室
紧凑型，集成振荡器和腔室单元
易于操作的触摸面板系统（PR510）
●光刻胶去除
●部件清洗
●表面活化处理
●微抛光
●兼容晶圆和玻璃基板
| 产品代码 | 215007 |
|---|---|
| 模型 | PR500（流量计规格） |
| 方法 | DP枪管类型 |
| 控制单元高频输出 | 功率 500 瓦 |
| 控制单元振荡频率 | 13.56MHz |
| 控制单元同步方法 | 自动调校 |
| 反应段反应罐 | 由石英制成，直径215毫米，厚度305毫米。 |
| 反应段反应气体系统 | 2 个系统（O 2 /CF 4） |
| 反应段控制系统 | 手动的 |
| 反应段管道材料 | SUS，特氟龙 |
| 内部尺寸（直径 x 深度） | φ215×305mm |
| 外部尺寸（宽 x 深 x 高） | 438×520×760毫米 |
| 功率容量 | AC100V 9A 断路器容量和15A电源容量 |
| 重量 | 60公斤 |
我司代理及优势品牌一览明细：
代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽
优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪，离心机等
