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产品型号:PDC210
更新时间:2026-01-05
厂商性质:代理商
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紧凑型设计,是研发的理想之选
配备 RIE 模式和 DP 模式(PDC510 标配,PDC200/210 可选)。
该等离子体采用平行板电极结构,可提供的均匀性。
触摸面板系统操作简便,数据采集也很简单。
配备零点稳定真空计。
●CSP、BGA、COB基板的等离子体处理
●去除有机薄膜和金属氧化物薄膜
●印刷电路板的干洗
●表面活化处理
●LED组装
| 产品代码 | 328211 |
|---|---|
| 模型 | PDC210 |
| 等离子模式 | RIE(DP模式选项) |
| 电极结构 | 平行板(固定在电极之间) |
| 高频输出 | 功率 500 瓦 |
| 振荡频率 | 13.56MHz晶体振荡器 |
| 控制和显示(仪器) | LCD触摸面板 |
| 舞台尺寸 | 宽度 250 x 深度 170 毫米 |
| 腔室材料 | 铝 |
| 反应气体 | 2 个系统(氩气,氧气) |
| 吹扫气体 | 氮气或干燥空气 |
| 反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
| 真空泵 | 标配旋转真空泵(约 345 升/分钟)。 |
| 气体入口 | 2 种反应性气体,1 股吹扫气 |
| 内部尺寸(宽 x 深 x 高) | 400×250×150毫米 |
| 外部尺寸(宽 x 深 x 高) | 540×600×600毫米 |
| 功率容量 | 三相交流200V 50/60HzV 6A 断路器容量和电源容量16A。不含电源插头。 |
| 重量 | 105公斤 |
代理品牌:CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
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