进口ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

产品简介：

进口ULVAC日本爱发科 DC-5-P/DC-10-P 脉冲和直流电源系统
进口ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

产品型号：DC-5-P/DC-10-P

更新时间：2025-11-12

厂商性质：代理商

访问量：28

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ULVAC日本爱发科

日本精品A&D音叉振动式粘度计SV-10A

产品介绍

进口ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

实现稳定反应溅射的直流脉冲电源

脉冲和直流电源系统
直流脉冲电源_DC PULSE系列Model: DC PULSE

ULVA

DC PULSE 系列是一种脉冲电源，可有效抑制无功过程中发生的异常放电。
该电源在设定的周期内反转输出电压，并抵消目标表面的电荷积累（充电），从而抑制异常放电并提高良率和吞吐量。

特点

通过抑制异常放电，可以输入大功率。
减少电弧引起的基板损伤
输出的振荡频率可设置为 5kHz 至 250kHz。
最多可并联运行 6 台（仅限同一型号的组合）
通过改变运行模式，也可以用作具有低电弧功能的直流电源。

规格

Model		DC-5-P	DC-10-P
输入规格	输入电压	三相 AC208V
	输入电容	8kVA 或更低	13.5kVA 或更低
输出规格	最大额定功率	5kW	10kW
	额定电流	12.5A	25A
	额定电压	5k-150kHz：800V、155k-250kHz：650V
	振荡频率	5k-250kHz
	反向电压脉冲宽度	0.4μ-5.0μs
	点火电压	1500V
控制	控制精度	±额定输出的 0.5% 或设定值的 ±1% 或更低，以较大者为准。
	控制保修范围	额定功率值的 10-100%
	外部控制	Analog/Digital、通信（RS232C 或 RS485）
并联运行		有
冷却方式		强制风冷
外形尺寸（W×D×H）不包含突起		483×630×133（mm）
质量		29kg	36kg
适合规格		CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧洲）

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直流脉冲电源_DC PULSE系列Model: DC PULSE

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