原装ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

产品简介：

原装ULVAC日本爱发科 SG-10-4 脉冲和直流电源系统
原装ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

产品型号：SG-10-4

更新时间：2025-11-12

厂商性质：代理商

访问量：24

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ULVAC日本爱发科

日本精品A&D音叉振动式粘度计SV-10A

产品介绍

原装ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

兼具可靠性和稳定性的双阴极支持LF电源

脉冲和直流电源系统
LF电源_SGModel: SG

ULVAC

它专为等离子体生成而设计，例如 LF 电源、双阴极溅射、等离子体CVD等，并且可以连续输出20kHz至100kHz频率的额定功率，用于等离子体负载。它是一种高度可靠的电源，通过在设计中体现我们多年积累的专业知识，包括电源的应用，非常适合等离子负载。

特点

您可以以1kHz为增量从20kHz到100kHz设置振荡频率。 *1
可以在不改变变压器抽头的情况下输出到规格的输出范围。
可进行脉冲输出控制。
外部模拟控制、控制器控制等是标准设备，可通过 OPTION 进行S232C、RS485和EtherCAT等各种控制。

*1：输出电压/电流根据频率设定条件有限制。

规格

Model		SG-10-4
输入规格	输入电压	3相 AC380-440V
输入规格	输入电容	13.2kVA 或更低
输出规格	最大额定功率	10kW
	额定电流	32A
	额定电压	1000Vrms
	振荡频率	20k-100kHz
控制	控制精度	± 100W（电压 30V 或更高，电流 1.5A 或更高）其他条件适用
	控制保修范围	额定功率值的 10-100%（电压 30V 以上，电流 1.5A 以上）
	外部控制	模拟/数字、串行通信（RS232C 或 RS485）、EtherCAT（可选）
冷却方式		水冷：7 L/min 或更高
外形尺寸（W×D×H）不包含突起		483×500×177（mm）
质量		40kg
适合规格		CE、SEMI F47、RoHS（欧洲）

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脉冲和直流电源系统
LF电源_SGModel: SG

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