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产品型号:A2KH-25U
更新时间:2025-11-12
厂商性质:代理商
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A2KH-25U

A2K-20K/40K
通过减少异常放电,可以输入高功率。
可以减少电弧引起的基板损伤。
可连接现有设备 *1
A2KH-25U:1kHz ~ 20kHz,A2K-20K/40K:1kHz ~ 50kHz
可同步多个A2K单元的输出脉冲 *2 *3
A2K-20K 和 40K 最多可并联运行 6 台。
应用:脉冲同步系统

当阴极在同一腔室中彼此靠近且阴极彼此相对时,或者当多个 A2K 的放电发生干扰时,可以通过将 A2K 的反向脉冲设置为同一相位来使用相位控制功能来防止放电的干扰 *3 *4
| Model | A2KH-25U | A2K-20K | A2K-40K | |
| 控制电源输入 | 输入电压 | 单相的 AC90-110V | 单相的 AC100-240V | |
| 输入电容 | 100VA 或更低 | 400VA 或更低 | ||
| 输入规格 | 工作电压 | -100~-800V | ||
| 工作电流 | 25A | 50A | 100A | |
| 额定输入功率 | 10kW | 20kW | 40kW | |
| 输出规格 | 振荡频率 | 1k-20kHz | 1k-50kHz | |
| 反向电压脉冲宽度 | 5μs/10μs 通过内部开关切换 | 3μ-18μs(振荡频率是有限的) | ||
| 操作模式 | 连续/1 脉冲/路径 | |||
| 输出格式 | Single Target | |||
| 冷却方式 | 强制风冷 | |||
| 外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 | 238×450×149(mm) | 480×630×177(mm) | ||
| 质量 | 16kg | 30kg | 45kg | |
| 适合规格 | RoHS(欧洲) | CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲) | ||