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进口ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统
产品简介:

进口ULVAC日本爱发科 A2KH-25U 脉冲和直流电源系统
进口ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

产品型号:A2KH-25U

更新时间:2025-11-12

厂商性质:代理商

访问量:32

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产品介绍

进口ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

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脉冲和直流电源系统
脉冲单元 _A2K系列
Model: A2K

ULVAC



A2K 系列作为直流电源的外部单元提供,是一种防止异常放电的单元,可将直流输出转换为脉冲输出并中和目标上的电荷。
  • 进口ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

    A2KH-25U

  • 进口ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

    A2K-20K/40K

特点

  • 通过减少异常放电,可以输入高功率。

  • 可以减少电弧引起的基板损伤。

  • 可连接现有设备 *1

  • A2KH-25U:1kHz ~ 20kHz,A2K-20K/40K:1kHz ~ 50kHz

  • 可同步多个A2K单元的输出脉冲 *2 *3

  • A2K-20K 和 40K 最多可并联运行 6 台。

应用:脉冲同步系统

进口ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

当阴极在同一腔室中彼此靠近且阴极彼此相对时,或者当多个 A2K 的放电发生干扰时,可以通过将 A2K 的反向脉冲设置为同一相位来使用相位控制功能来防止放电的干扰 *3 *4


*1:可连接到我们的直流电源
*2:无法通过混合 A2KH-25U、A2K-20K 和 40K 进行脉冲同步和并联操作
*3:A2KH-25U 需要外部同步单元 (PHSM/PHSS)
*4:A2K-20K/40K 需要光同步电缆(Pulse link 电缆)

规格

ModelA2KH-25UA2K-20KA2K-40K
控制电源输入输入电压单相的 AC90-110V单相的 AC100-240V
输入电容100VA 或更低400VA 或更低
输入规格工作电压-100~-800V
工作电流25A50A100A
额定输入功率10kW20kW40kW
输出规格振荡频率1k-20kHz1k-50kHz
反向电压脉冲宽度5μs/10μs 通过内部开关切换3μ-18μs(振荡频率是有限的)
操作模式连续/1 脉冲/路径
输出格式Single Target
冷却方式强制风冷
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起238×450×149(mm)480×630×177(mm)
质量16kg30kg45kg
适合规格RoHS(欧洲)CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲)


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