服务热线
15815550998

产品型号:MFU-20K
更新时间:2025-11-12
厂商性质:代理商
访问量:22
服务热线158-1555-0998
产品分类
相关文章
原装ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统
原装ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统
为实现更优质的薄膜沉积过程而提供的可后装双极单元
ULVAC
可在 10kHz~100kHz 范围内使用 *1
主/从连接最多可并联 6 台
与我们的直流电源组合使用,可以轻松实现与双阴极兼容的放电方式。
*1:振荡频率超过60kHz 时,输出功率、电压和电流会受到限制。
| Model | MFU-20K | |
| 控制电源输入 | 输入电压 | 単相 AC100-240V |
| 输入电容 | 400VA 或更低 | |
| 输入规格 | 工作电压 | 0~-1000V |
| 工作电流 | 50A | |
| 额定输入功率 | 20kW | |
| 输出规格 | 振荡频率 | 10k-100kHz(输出限制高于61kHz) |
| 额定输出电压 | 1000V(RMS) | |
| 额定输出电流 | 50A(RMS) | |
| 输出格式 | Dual Target | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 | 480×630×177(mm) | |
| 质量 | 29kg | |
| 适合规格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲) | |