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原装ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统
产品简介:

原装ULVAC日本爱发科 MFU-20K 脉冲和直流电源系统
原装ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

产品型号:MFU-20K

更新时间:2025-11-12

厂商性质:代理商

访问量:22

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产品介绍

原装ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统

原装ULVAC日本爱发科脉冲和直流电源系统




为实现更优质的薄膜沉积过程而提供的可后装双极单元


脉冲和直流电源系统
双极单元 _MFU
Model: MFU

ULVAC



MFU 可用作直流电源的外部单元,是一种用于双阴极溅射的 MF 电源。 它不仅对金属膜有效,而且对反应沉积也有效。 实现了稳定的溅射,而不会损失阳极。

    特点

    • 可在 10kHz~100kHz 范围内使用 *1

    • 主/从连接最多可并联 6 台

    • 与我们的直流电源组合使用,可以轻松实现与双阴极兼容的放电方式。
      *1:振荡频率超过60kHz 时,输出功率、电压和电流会受到限制。

    规格

    ModelMFU-20K
    控制电源输入输入电压単相 AC100-240V
    输入电容400VA 或更低
    输入规格工作电压0~-1000V
    工作电流50A
    额定输入功率20kW
    输出规格振荡频率10k-100kHz(输出限制高于61kHz)
    额定输出电压1000V(RMS)
    额定输出电流50A(RMS)
    输出格式Dual Target
    冷却方式强制风冷
    外形尺寸(W×D×H) 不包含突起480×630×177(mm)
    质量29kg
    适合规格CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲)


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