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产品型号：HR60/HR90/HR300/HR600
更新时间：2025-11-11
厂商性质：代理商
访问量：27
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超轻型空调
通过将泵体均匀加热到高温范围，
可以将化学气相沉积、蚀刻等工艺过程中高温区域浸泡产生的可升华废气以气态形式排出。
“UR 型"设备甚至可以达到比“HR 型"设备更高的温度。
它配备了氦气密封罐式电机，结构密封，非常安全。
采取措施防止发生持续时间不超过 1000 毫秒的瞬时断电。
优异的耐腐蚀性
：主要部件均采用特殊的表面处理工艺，具有较高的表面硬度和优异的耐腐蚀性，可减少泵在排出腐蚀性气体时内部的腐蚀。
通信功能：
可读取泵运行状态和警告/报警历史记录等数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可实现集中监控。
CVD设备
蚀刻设备
灰化装置
ALD、ALH 等。
| 模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
| 最大 泵速 | 50赫兹 | 立方米/小时（升/ 分钟） | 62(1030) | 112（1860） | 359(5,980) | 653（10,900） | 1,012(16,900) | ||
| 60赫兹 | 立方米/小时（升/ 分钟） | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701（11,700） | 1,051(17,500) | |||
| 极限压力 | 宾夕法尼亚州 | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大进气压力 （进气压力） | 大气压*1 | ||||||||
| 最大出口压力 （排气压力） | 宾夕法尼亚州 | 1 至大气压 | |||||||
| 进气口（CE规范） | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | |||||
| 排气口 | KF40 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 电力 | 三相 | 交流电（赫兹） | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 当前值 | 稳定状态 | 一个 | 7.1 （200V时） | 11.2 （200V时） | 7.8 （200V时） | 12.9 （200V时） | 15.4 （200V时） | ||
| 最大限度 | 一个 | 7.3 （200V时） | 11.8 （200V时） | 8.1 （200V时） | 13.8 （200V时） | 18.9 （200V时） | |||
| 冷却水临时压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷却水进/出口压差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| N2吹扫 | 轴 | 空间光调制 | 5 | ||||||
| 加斯巴拉 | 空间光调制 | 0~45 | |||||||
*1 请勿在入口压力为 200 Pa 或更高时连续操作 HR300、HR600 或 HR1200。
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