PA‑300‑MT 模块化分体式二维双折射 / 残余应力测量单元

PA‑300‑MT 是 PA 系列模块化集成型测量机头单元；光学测量性能与 PA‑300 一致，光源与传感机头可与样品台分离；主打设备嵌入、半在线 / 离线自动化工位集成，既可以简易台式使用，也可集成到客户工装、自动化设备；500 万像素，面向低相位差精密基材无损面测量，3‑10 秒输出全域双折射云图

核心原理

像素级光子晶体偏振阵列传感器，无旋转检偏器运动部件；单波长520 nm 绿光，针对 0‑130 nm 微弱相位差信号优化；输出相位差 (nm)、光轴角度 (°)；选配数据处理选件输入光弹系数换算等效应力 MPa

主要特点

1. 光源‑传感头可与样品台分离：区别 PA‑300 一体化台式；机头可倒装、侧装，集成至客户自动化工装、机械手工位、半在线检测工位；样品台可由客户自有运动机构提供。

2. 完整继承 PA 系列 500 万像素高灵敏度，适合玻璃、晶圆微弱残余双折射定量检测；快照式成像，无运动光学部件，适合工业环境长期稳定运行。

3. 支持变焦镜头，兼顾全域检测与局部微区观测。

4. 开放外部控制 API 接口：支持上位机触发测量、获取测量结果，对接 PLC、MES、用户自动化软件；支持实时解析功能选件。

5. 两种使用形态：①配套简易底座做实验室台式；②拆除底座，机头直接集成客户设备。

6. ❗单波长机型，不支持三波长、不支持高位相差扩展；样品相位差上限 130 nm；高相位差集成场景选用 WPA‑300‑MT。

🎯典型应用样品