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玉科到货：EBARA 荏原 EV‑S50P 多级罗茨干式真空泵
更新时间：2026-08-18
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到货公告
各位客户、合作伙伴：大家好！
我司新一批EBARA 荏原 EV‑S50P 多级罗茨干式真空泵 已完成入库、检验、上架工作，目前库存充足，可正常接单、发货。
EBARA 荏原 EV‑S50P 多级罗茨干式真空泵
EV‑S50P：标配氮气吹扫，普通材质，用于轻微粉尘、少量副产物工况
核心规格参数
| 项目 | EV‑S50P |
|---|---|
| 泵结构 | 多级非接触罗茨干式无油泵 |
| 最大抽速 | 5000 L/min（300 m³/h），50/60Hz 性能一样 |
| 极限真空 | 0.5 Pa（空载） |
| 进气法兰 | NW50 KF 法兰 |
| 排气法兰 | NW25 KF 法兰 |
| 冷却方式 | 水冷，冷却水流量 2.0‑3.0 L/min，进水≤30℃ |
| 供电 | 三相 AC200‑220V / 380‑440V，50/60Hz |
| 电源容量 | 4.8 kVA |
| 极限真空运行功率 | 0.55 kW；变频带怠速休眠节能模式 |
| N₂吹扫 | 内置氮气吹扫系统，带调压阀；吹扫流量可调 |
| 外形 W×D×H | 230 × 450 × 520 mm |
| 整机重量 | 100 kg |
| 通讯接口 | LCD 本地面板；RS485；D‑Sub 控制接口；报警历史存储；PLC 远程启停 / 报警输出 |
| 认证 | SEMI‑S2、CE、NRTL |
核心特点
多级非接触罗茨，无油，无碳氢返油，满足半导体洁净真空；水冷结构，必须配套冷却水系统，不能风冷替代。
直流变频驱动，自带怠速休眠功能，低功耗；压力高区间依然保持大抽速，适合工艺腔体连续运行。
EV‑S50P 自带氮气吹扫，抑制粉尘、副产物沉积泵腔内部，延长维护周期；不能处理强腐蚀卤素气体，强腐蚀请选 P/N 镍合金版本。
完整监控：温度、负载、故障预警、历史报警记录，支持上位机 RS485 监控，适配半导体设备 PLC 集成。
定位：工艺干泵，可直接抽工艺腔体；也可做分子泵前级泵；
典型应用
半导体：Load‑lock、传输腔、中小型 PVD、轻蚀刻、CVD 工艺腔体前级；面板、光伏设备；不适用强腐蚀重蚀刻工艺（选 P/N）。
我司将持续保障货源稳定、供货及时，竭诚为大家提供优质的产品与服务。
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品牌负责人：林经理
玉崎科学仪器（深圳）有限公司
2026年 08月18日
