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更新时间:2026-08-18
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到货公告
各位客户、合作伙伴:大家好!
我司新一批EBARA 荏原 EV‑PA250 小型风冷干式罗茨真空泵 已完成入库、检验、上架工作,目前库存充足,可正常接单、发货。
EV‑PA250:单相宽电压 100‑230V,无油风冷干泵,EV‑PA 系列最小机型;定位小腔体、实验室、仪器配套前级泵;无需冷却水,可直接普通 220V 市电使用
| 项目 | EV‑PA250 |
|---|---|
| 泵类型 | 多级非接触罗茨干式无油真空泵 |
| 抽速 | 230 L/min;气镇开启 200 L/min |
| 极限真空 | 0.5 Pa(气镇 OFF);2.0 Pa(气镇 ON) |
| 最大水蒸气处理量 | 约 120 g/h(气镇开启) |
| 进气接口 | NW25 KF 快装 |
| 排气接口 | NW25 KF 快装 |
| 冷却方式 | 强制风冷,不用冷却水 |
| 供电 | 单相 AC100‑230V,50/60Hz,电压允许 ±10% |
| 电源容量 | 0.45 kVA |
| 极限真空运行功率 | 0.24 kW;峰值 0.38 kW |
| 噪音 | 55 dB (A)(1 米) |
| 外形 W×D×H | 189 × 412 × 272 mm |
| 整机重量 | 16 kg,带便携提手 |
| IO 通讯 | 面板状态灯;远程启停 / 报警输出;可选 RS485 通讯模块 |
| 标配 | 内置气镇阀、进气过滤器 |
| 认证 | CE、SEMI‑S2、NRTL |
无油、非接触转子,无碳氢返油,洁净真空;转子无接触磨损,密封件免更换,长 MTBF 寿命。
风冷免水,无需水冷管路,无尘室、台式摆放,无漏水风险。
宽电压单相,国内 220V 直接使用,不需要三相供电;体积小巧轻便,可移位。
自带气镇阀,处理少量水汽;不适合强腐蚀工艺气体,可选氮气吹扫套件。
支持 PLC 远程启停、故障报警;RS485 为选配件。
定位:前级粗抽泵,不能直接获得高真空,需要搭配分子泵。
半导体:小型 Load‑lock、晶圆检测台、微型腔体前级泵
科研:SEM、质谱、检漏仪配套、小型真空腔体、真空脱泡、样品干燥
仪器 OEM 配套,间歇抽真空工况
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品牌负责人:林经理
玉崎科学仪器(深圳)有限公司
2026年 08月18日