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玉科到货:EBARA 荏原 EV‑PA250 小型风冷干式罗茨真空泵

更新时间:2026-08-18点击次数:6

到货公告

各位客户、合作伙伴:大家好!

我司新一批EBARA 荏原 EV‑PA250 小型风冷干式罗茨真空泵 已完成入库、检验、上架工作,目前库存充足,可正常接单、发货。

EBARA 荏原 EV‑PA250 小型风冷干式罗茨真空泵

EV‑PA250:单相宽电压 100‑230V,无油风冷干泵,EV‑PA 系列最小机型;定位小腔体、实验室、仪器配套前级泵;无需冷却水,可直接普通 220V 市电使用

核心规格参数


项目EV‑PA250
泵类型多级非接触罗茨干式无油真空泵
抽速230 L/min;气镇开启 200 L/min
极限真空0.5 Pa(气镇 OFF);2.0 Pa(气镇 ON)
最大水蒸气处理量约 120 g/h(气镇开启)
进气接口NW25 KF 快装
排气接口NW25 KF 快装
冷却方式强制风冷,不用冷却水
供电单相 AC100‑230V,50/60Hz,电压允许 ±10%
电源容量0.45 kVA
极限真空运行功率0.24 kW;峰值 0.38 kW
噪音55 dB (A)(1 米)
外形 W×D×H189 × 412 × 272 mm
整机重量16 kg,带便携提手
IO 通讯面板状态灯;远程启停 / 报警输出;可选 RS485 通讯模块
标配内置气镇阀、进气过滤器
认证CE、SEMI‑S2、NRTL

核心特点

  1. 无油、非接触转子,无碳氢返油,洁净真空;转子无接触磨损,密封件免更换,长 MTBF 寿命。

  2. 风冷免水,无需水冷管路,无尘室、台式摆放,无漏水风险。

  3. 宽电压单相,国内 220V 直接使用,不需要三相供电;体积小巧轻便,可移位。

  4. 自带气镇阀,处理少量水汽;不适合强腐蚀工艺气体,可选氮气吹扫套件

  5. 支持 PLC 远程启停、故障报警;RS485 为选配件。

定位:前级粗抽泵,不能直接获得高真空,需要搭配分子泵

典型应用

  • 半导体:小型 Load‑lock、晶圆检测台、微型腔体前级泵

  • 科研:SEM、质谱、检漏仪配套、小型真空腔体、真空脱泡、样品干燥

  • 仪器 OEM 配套,间歇抽真空工况


我司将持续保障货源稳定、供货及时,竭诚为大家提供优质的产品与服务。

如需询价、订购、索取产品资料及资质文件,可随时与我司对接人员联系。

品牌负责人:林经理

玉崎科学仪器(深圳)有限公司

2026年 08月18日


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