PA 系列｜低相位差・超高精度

定位：面向低双折射、低相位差精密硬质基材；单波长 520 nm，量程0‑130 nm；500 万像素 (2056×2464)光子晶体偏振成像传感器；非接触无损全域面测量，3‑10 秒输出完整应力云图；对标三鹰光器 Mitaka 低相位差机型。❗注意：PA 系列不适合高相位差树脂、厚塑胶，高应力样品请选用 WPA 系列。

✨核心技术原理

1. 硬件基础：自研光子晶体偏振成像阵列传感器，无旋转检偏器等运动部件，无机械磨损；全部偏振信息一帧同步采集，无机械扫描延迟、无振动引入误差。

2. 单波长 520 nm 绿光测量技术，专为0‑130nm 微弱相位差信号优化，捕捉玻璃、晶圆极微小残余双折射；

3. 输出物理量：相位差 (nm)、光轴角度 (°)；选配数据处理选件，输入材料光弹系数后换算等效应力 (MPa)。

4. 测量速度：3‑10 s 完成一整个视场二维面成像；输出应力云图、线剖面曲线、ROI 区域统计、CSV 数据导出。

📋全系列型号详解

PA‑300（标准台式主机）

• 定位：实验室通用台式，玻璃、石英、晶圆、光学镜片研发与 QC；

• 标准视场：约 37×44 mm ~ 100×133 mm；选配变焦镜头缩小至 5.5×6.6 mm 微区观测；

• 传感器像素：2056×2464（约 500 万像素）；

• 重复精度：相位差 σ 1.0 nm；

• 本体重量约 23 kg；电源 AC100‑240V 50/60Hz；

• 衍生子型号：

• PA‑300‑L：大载台版本，适配大尺寸基板，可选真空吸附样品台；

• PA‑300‑XL：超大台面，最大 A3 尺寸样品，可直接测量 12 英寸晶圆、车载大尺寸盖板玻璃。

PA‑micro（显微搭载微区测量机型）

• 对接奥林巴斯 / 尼康科研级显微镜；把光子晶体偏振传感器集成到显微镜光路；

• 实现微米级微小区域双折射 / 应力测量；观察芯片局部、微小光学元件、TGV 玻璃通孔侧壁应力、键合界面微区应力；

• 量程同样 0‑130 nm，500 万像素；适合局部缺陷、微小器件分析。

PA‑300‑NIR（近红外版本，850 nm 波长）

可见光不透明、红外透光材料专用；量程扩展至0‑213 nm

• 测量波长：850 nm 近红外；

• 典型样品：LiDAR 红外光学元件、硫系玻璃、深色红外透光基材；

• 硬件结构、软件 PA‑View、像素与 PA‑300 保持一致。

PA‑300‑MT（模块化分体单元）

• 光源‑传感头与样品台分离；支持集成到第三方设备、工装设备，用于半产线离线自动化检测；对外 GigE 通讯，提供外部控制 API 接口。

📊PA 系列通用核心参数

🎯典型适用样品

❗不适用：COP、PC 等高双折射树脂、厚注塑件；这类样品相位差经常超过 130 nm，必须选用 WPA 系列。

🧩原厂可选配件清单

1. 变焦镜头：缩小视场局部微区观测；

2. 数据处理选件：应力 MPa 换算（需要输入材料光弹系数）；

3. 真空吸附样品台（PA‑300‑L/‑XL 常用，防止大基板翘曲）；

4. 遮光罩：屏蔽环境杂光干扰；

5. 外部控制 API 接口，对接上位机 / LIMS/MES 系统；

6. 显微镜整机套件（PA‑micro：奥林巴斯 / 尼康显微镜本体）。

⚠️PA 系列 vs WPA 系列选型对照表