15815550998

article

技术文章

当前位置：首页技术文章MIYUKI 美幸辉GAR系列控制闸阀玉崎科学仪器原装供应

MIYUKI 美幸辉GAR系列控制闸阀玉崎科学仪器原装供应

更新时间：2026-08-25点击次数：17

GAR系列控制闸阀

MIYUKI 美幸辉GAR系列控制闸阀玉崎科学仪器原装供应

特征

  • 01. 具有优异排气特性的闸阀。

  • 02. 支持 80A 至 400A 的多种直径。

  • 03. 即使在停电时也能密封。

  • 04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。

  • 05. 可实现流量控制直至关闭的结构。

  • 06. 由于采用不锈钢磨料，气体释放量低。

规格

口径80A 至 400A
工作压力范围10⁵ Pa 至10⁻⁶ Pa

内部密封件（阀门）泄漏		1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低

外部密封件（轴）泄漏量		1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低
气体接触部件的材料SUS304
阀门密封氟橡胶O型圈
轴封氟橡胶O型圈
耐热温度主机：150℃
电机：40℃
停电期间阀门运行*停止（刹车锁）















GAR在安装位置方面存在一些限制。详情请联系我们。


















我们还可以生产防断电产品。



主要用途：
· 半导体制造：刻蚀、沉积、离子注入、外延、清洗设备的真空腔体隔离、压力闭环调节、
大流量快速排气
· 真空镀膜：光学/半导 PVD/CVD 镀膜线的抽气控制、工艺压力稳定、腔体通断
· 光伏锂电：硅片制绒、PECVD、锂电真空干燥、涂层检测的大口径真空管路控制
· 科研分析：高能物理、材料表征、质谱、电子显微镜的高真空系统气路控制
· 工业真空：真空炉、钎焊、检漏、氦回收系统的大流量、高精度压力调节



日本 MIYUKI 美幸辉中国采购供货渠道

玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应

品牌负责人：林经理

地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层玉崎科学


服务热线
15815550998

扫码加微信