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MIYUKI 美幸辉 MGCS‑21双通道独立真空压力控制器玉崎科学仪器原装供应
更新时间：2026-08-25
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MIYUKI 美幸辉 MGCS‑21｜双通道独立真空压力控制器（双腔体 / 双工艺段独立控制）
原装供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司，品牌负责人林经理
公司地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
⚠️仅适配BAR、GAR、G 伺服调节阀；不能驱动 BAZ 定点阀、BH 缓抽阀、B 开关阀。
型号释义
MGCS‑21：双通道独立 APC 真空压力控制器；通道 CH‑1、CH‑2 硬件独立；
可定制：UPS 断电保护；RS485 通讯；机柜 19 英寸半机架安装。
结构与工作原理
双通道独立 PID 闭环控制
每通道独立真空计输入、独立 PID 运算、独立阀门驱动输出，两个腔体工艺压力、PID 参数、配方分开，互不影响；支持 PIDAT 一键自整定，每通道可单独自整定，适配不同腔体容积、不同泵抽速工况。
闭环逻辑：真空计采集腔体压力→对应通道 PID 运算→输出驱动信号调节对应伺服阀开度→改变流导，稳定腔体工艺压力。
人机界面：5 英寸彩色触摸屏
分屏同时显示 CH‑1、CH‑2 设定压力、实际压力、阀门开度、报警状态；每通道可独立调用存储工艺配方。
信号接口
模拟输入：每通道 1 路 0‑10V 真空计输入，合计 2 路独立真空传感器；
驱动输出：2 路伺服阀驱动输出，分别驱动 #1、#2 伺服调节阀；
I/O 干接点：每通道独立启停、报警、就绪信号；全局报警输出；
通讯：RS‑232C，可选 RS485；支持 PLC / 上位机远程对两个通道分别下发设定、读取压力、开度数据。
断电保护：支持外接 UPS 不间断电源，保存阀位与工艺参数。
安装：19 英寸半机架机柜安装；工作环境 0‑55℃，避免粉尘腐蚀性气体。
完整技术参数
| 项目 | MGCS‑21 双通道压力控制器 参数 |
|---|---|
| 控制通道 | CH‑1、CH‑2，两套硬件独立 PID 闭环 |
| 压力控制区间 | 0.1Pa～10⁵Pa（每通道独立） |
| 控制精度 | 设定压力 ±0.1% FS，每通道独立指标 |
| PID 算法 | PIDAT 模糊自整定，每通道独立 7 档自整定 |
| 真空计输入 | 2× 独立 0‑10V DC（通道 1、通道 2 各接一只真空计） |
| 阀门驱动输出 | 2 路独立驱动，适配 BAR/GAR/G 系列伺服调节阀 |
| 工艺配方存储 | 每通道 8 组独立配方，合计 16 组可调用 |
| 显示 | 5 英寸彩色触摸屏，双通道同屏显示 |
| 电气 I/O | 每通道独立启停、就绪、报警干接点；全局报警输出 |
| 通讯接口 | 标配 RS‑232C；可选 RS‑485 |
| 供电 | AC100‑230V 宽电压，最大功耗 300W |
| 安装方式 | 19 英寸半机架安装 |
| 尺寸 (宽 × 深 × 高) | 241 mm ×344 mm ×143.5 mm |
| 重量 | 5.2kg |
典型应用场景（双腔体 / 双工艺段独立控制）
- 双腔 PVD、串联式卷绕镀膜设备前处理腔体与镀膜腔体，两个腔体需要维持不同工艺压力；一台 MGCS‑21 分别驱动两台伺服阀，两套闭环独立稳压，省去两台单通道 MGCS‑11，节约机柜空间与成本。
- 双工位半导体、光伏工艺腔体两套腔体并行工艺，压力参数不一样；通道 1、通道 2 可独立启停，互不干涉。
- 科研双腔体系统、对比试验平台两个实验腔体需要分别稳压，做对照工艺实验；每通道独立整定 PID，适配不同腔体特性。
选型边界区分：
MGCS‑21（双通道独立）：2 套独立腔体，各配 1 台伺服阀，两套闭环独立运行；
MGCS‑11（单通道）：单腔体控制；如需双腔，必须配置 2 台 MGCS‑11；
MS‑PC：BAZ/GAZ 定点阀专用控制器，不能做 PID 压力闭环。
系统成套配置方案
⚠️重要提醒：
MGCS‑21只支持 BAR/GAR/G 系列伺服调节阀，不能驱动 BH 缓抽阀、B 开关蝶阀、BAZ 定点阀；
两个腔体必须分别配置独立真空计，不可共用一只真空计；
不是 “一通道接两个阀门"，而是一通道对应一套腔体 + 一套伺服阀。
选型对比（MGCS‑21 VS MGCS‑11×2）
| 项目 | MGCS‑21 双通道控制器 | 2 台 MGCS‑11 单通道控制器 |
|---|---|---|
| 控制能力 | 2 通道独立 PID 闭环 | 两台各 1 通道独立 PID 闭环 |
| 占用机柜空间 | 半机架（1 台） | 2 台半机架，占用双倍空间 |
| 配方存储 | 每通道 8 组，合计 16 组 | 每台 7 组，合计 14 组 |
| 触摸屏 | 5 寸彩屏，双腔同屏显示 | 4 寸单色屏，单腔显示 |
| 通讯 | 一套 RS232，可分别读写两个通道 | 两套独立 RS232，上位机需要双串口 |
| 适用场景 | 双腔体、双工位设备 | 多腔体、设备空间充足场景 |
供货与选型提示
供货状态：MGCS‑21 双通道控制器，订货交期；UPS 断电保护、RS485 版本为定制；可提供原厂规格书、CE 证书。
选型避坑：MGCS‑21 是两套独立闭环，不是单通道双阀输出；不可驱动 BAZ/BH/B 系列阀门；每通道必须配套对应伺服阀 + 独立真空计。
提示：市面存在翻新二手控制器，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。
