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更新时间:2026-08-24
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原装现货供应:玉崎科学仪器(深圳)有限公司品牌负责人:林经理 地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
系列‑法兰代号‑通径J:JIS 日标法兰;I:ISO‑F 法兰;C:CF 刀口法兰;N:KF (NW) 快卸法兰
例:L‑I160、GH‑I250、GR‑C200
驱动:双作用气动气缸,可选弹簧复位单作用;气源 0.4‑0.6MPa,气缸自带末端气垫缓冲,降低冲击噪音。
结构:超薄面间尺寸,大通导、流阻小;阀板铝合金轻量化;球压多点密封,反向压差依然保持可靠密封;启闭过程阀板不摩擦阀体,减少颗粒产生。
定位:高性价比通用隔断阀,真空泵组主路切断、真空炉粗抽管路、普通镀膜设备隔离。
局限:不具备开度调节功能,仅全开 / 全关;不适合强腐蚀等离子半导体量产制程。
驱动:主气缸 + 副调节气缸二段机构,可机械限位设定小开度;实现全关‑小开度慢抽‑全开快抽三工位动作,一台阀门替代主阀 + 旁路阀,简化管路布局。
核心优势:慢抽慢破空,抑制气流扬尘、保护工件;球压强化密封,大口径高压差工况密封稳定;SUS304 电解抛光阀体,低发尘;可升级 Kalrez 密封圈应对腐蚀工艺气体。
定位:光学镀膜、锂电脱气腔体、大型真空炉、面板设备、半导体中试设备;大口径量产真空系统。
驱动:手轮回转手动操作,操作轻便省力;内置过载离合,防止过拧损伤密封件。
结构:侧向布置执行器,整机高度低,适配狭小安装空间;球压密封,耐受正反压差;可选配微动开关输出开 / 关信号对接 PLC 系统。
定位:设备检修旁路隔断、实验室真空腔体、没有压缩气源的点位;腔体维护隔离,保护真空泵与腔体。
| 项目 | 参数规格 |
|---|---|
| 工作压力范围 | 10⁵Pa(常压)~10⁻⁶Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 壳体外漏 ≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s;阀座内漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,氦检出厂 |
| 介质接触材质 | SUS304 不锈钢,真空钎焊一体成型,内腔电解抛光,低放气 |
| 标准密封件 | FKM 氟橡胶‑25~120℃;可选 Kalrez 全氟醚密封圈,抗等离子腐蚀 |
| 烘烤温度 | FKM 密封最高 120℃;金属密封版本最高 200℃ |
| 气源条件(气动款) | 0.4‑0.6MPa,干燥洁净无油压缩空气 |
| 法兰规格 | KF (NW)/ISO‑F/JIS/CF;口径 DN40‑DN500 全覆盖 |
| 电气选配 | 微动开关 NPN/PNP,输出全开、全关到位信号接入 PLC |
| 装配检测 | 百级洁净室组装,每台氦质谱检漏测试 |
| 使用工况 | 推荐系列 | 代表型号 |
|---|---|---|
| 通用真空机组、普通真空炉,追求性价比 | L 系列 | L‑I160、L‑I250 |
| 大口径腔体,需要慢抽 / 慢破空防冲料,镀膜、锂电、半导体中试 | GH 系列 | GH‑I160、GH‑I250、GH‑I400 |
| 检修旁路、无气源、实验室设备人工操作隔断 | GR 系列 | GR‑C160、GR‑I200 |
现货库存:L 系列、GH 系列流通主流型号有原装现货,可直接出库;
订货交期:大口径 DN400‑DN500、CF 法兰、Kalrez 密封定制款日本原厂订货;
交付资料:原厂说明书、氦检报告、CE 证书;支持密封件选型确认;
配套方案:可搭配 MGCS‑11 真空控制器,实现闸阀 + 真空规整套系统方案;