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EBARA 荏原 EV‑PA250 小型风冷干式罗茨真空泵玉崎科学仪器原装现货
更新时间：2026-08-19
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EBARA 荏原 EV‑PA250 小型风冷干式罗茨真空泵玉崎科学仪器原装现货
EV‑PA250：单相宽电压 100‑230V，无油风冷干泵，EV‑PA 系列最小机型；定位小腔体、实验室、仪器配套前级泵；无需冷却水，可直接普通 220V 市电使用
核心规格参数
| 项目 | EV‑PA250 |
|---|---|
| 泵类型 | 多级非接触罗茨干式无油真空泵 |
| 抽速 | 230 L/min；气镇开启 200 L/min |
| 极限真空 | 0.5 Pa（气镇 OFF）；2.0 Pa（气镇 ON） |
| 最大水蒸气处理量 | 约 120 g/h（气镇开启） |
| 进气接口 | NW25 KF 快装 |
| 排气接口 | NW25 KF 快装 |
| 冷却方式 | 强制风冷，不用冷却水 |
| 供电 | 单相 AC100‑230V，50/60Hz，电压允许 ±10% |
| 电源容量 | 0.45 kVA |
| 极限真空运行功率 | 0.24 kW；峰值 0.38 kW |
| 噪音 | 55 dB (A)（1 米） |
| 外形 W×D×H | 189 × 412 × 272 mm |
| 整机重量 | 16 kg，带便携提手 |
| IO 通讯 | 面板状态灯；远程启停 / 报警输出；可选 RS485 通讯模块 |
| 标配 | 内置气镇阀、进气过滤器 |
| 认证 | CE、SEMI‑S2、NRTL |
核心特点
无油、非接触转子，无碳氢返油，洁净真空；转子无接触磨损，密封件免更换，长 MTBF 寿命。
风冷免水，无需水冷管路，无尘室、台式摆放，无漏水风险。
宽电压单相，国内 220V 直接使用，不需要三相供电；体积小巧轻便，可移位。
自带气镇阀，处理少量水汽；不适合强腐蚀工艺气体，可选氮气吹扫套件。
支持 PLC 远程启停、故障报警；RS485 为选配件。
定位：前级粗抽泵，不能直接获得高真空，需要搭配分子泵。
典型应用
半导体：小型 Load‑lock、晶圆检测台、微型腔体前级泵
科研：SEM、质谱、检漏仪配套、小型真空腔体、真空脱泡、样品干燥
仪器 OEM 配套，间歇抽真空工况
采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
项目负责人：林经理
