日本 FLUORO 福乐 FV 系列 无油隔膜真空泵（真空吸笔配套・无尘室专用）玉崎科学仪器原装现货供应

供货渠道：玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应 品牌负责人：林经理  地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

产品概述

FV 系列是 FLUORO 福乐专为半导体无尘室开发无油干式隔膜真空泵，作为 C 系列、F 系列真空吸笔专用负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配 Class100‑1000 洁净环境，用于硅晶圆、碳化硅、光学基板、芯片手动搬运。 整机无油设计，杜绝油雾污染；主流机型进出气配置HEPA 过滤器（0.3μm，过滤效率 99.97%），透明视窗可视滤芯损耗状态，方便维护更换。 分为标准负压款与FV‑W 吸附 + 吹气双向款，吹气款仅可搭配 C007 / F007 吹气释放型吸笔使用。

核心产品特点

1. 无油隔膜结构：无润滑油，无油气挥发污染晶圆，适合半导体洁净工位；电磁驱动隔膜，磨损极低，理论耐久＞9000 小时，支持 24h 连续运行フロロメカ...。

2. HEPA 双重过滤（FV‑30‑240 / FV‑60‑240 / FV‑XP / FV‑W）：进气、出气双端过滤，透明观察窗口，不用拆机即可判断滤芯更换周期，防止泵体碎屑反向污染工件。

3. 防静电壳体：导电尼龙机身，可接地泄放静电，避免 ESD 损伤芯片器件。

4. 低噪音封闭式腔体，体积小巧桌面摆放，也可嵌入设备内部；功耗低，长期使用省电。

5. 管路兼容：支持 Φ3×5、Φ4×6 真空软管，出厂标配 Φ3×5 软管。

6. 电压版本‑240：AC220‑240V，国内直接市电使用；‑110 为 110V 日规版本。

主力型号规格参数（国内 220V 版本）

说明：FV‑10 为入门微型泵，无 HEPA，仅适合小芯片小件，半导体晶圆工位较少选用。

各型号选型指引

1. FV‑30‑240：小负压，适配 2‑6 英寸小尺寸硅片，单支吸笔，预算有限实验室。

2. FV‑60‑240（市面主流）：8 英寸晶圆通用，负压充足，绝大多数 C/F 系列吸笔标准配套，实验室、中试产线用量最大。

3. FV‑XP：高性能加强版，更高真空 + 更大流量，12 寸大晶圆，可同时驱动多支吸笔，研发、小量产线。

4. FV‑W 双向泵：专属匹配 C007‑XX、F007‑XX 吹气释放型吸笔；按下吸笔按键输出柔和正压吹气，解决超薄片、湿法晶圆静电 / 液膜粘片难以脱落问题；不可用于普通 001/002/003 吸笔。

典型应用场景

• 半导体无尘工作台，配合 C 系列防静电吸笔：干态晶圆、芯片、蓝宝石基板拾取

• 配合 F 系列特氟龙吸笔：湿法清洗、腐蚀槽晶圆转运

• 实验室研发、探针台、贴膜、划片工位手动取片

• FV‑W 用于超薄晶圆、薄片、微小晶粒防粘片卸料

配套耗材

1. HEPA 替换滤芯组件（定期消耗件）

2. Φ3×5 / Φ4×6 防静电真空软管

3. 接地套件，用于强化防静电性能

订货说明

日本原装；FV‑60‑240 部分现货，其余型号订货货期 4‑6 周；可提供原厂 PDF 规格书，支持含税报价。

选型提示：普通自锁吸笔（001/002/003）选用 FV‑30‑240 / FV‑60‑240 / FV‑XP；只有使用 007 吹气吸笔才选 FV‑W。