EBARA 荏原 EST25N高温防腐螺杆干式真空泵玉崎科学原装供应

EBARA 荏原 EST25N（高温防腐螺杆干式真空泵）

✅ 定位与用途

• 核心定位：处理高粉尘、强酸 / 卤素、大量固态副产物的重载真空制程。

• 典型场景：半导体 CVD/ALD/ 蚀刻 / 扩散、光伏、LED、化工反应釜。

• 设计关键：泵体主动控温（高温运行），防止副产物（如 NH₄Cl）冷凝结块，抗堵、长寿命。

✅ 核心参数（EST25N）

• 抽气速度：2,500 L/min（50/60Hz 不变）

• 极限真空：0.4 Pa

• 额定功率：3.0 kW

• 重量：约 180 kg

• 冷却方式：全水冷，流量 5–8 L/min（进水≤30℃）

• 进气法兰：NW40

• 材质：标准镍合金 / 镍涂层，强防腐

• 认证：SEMI‑S2、CE、NRTL（半导体安全级）

✅ 荏原干泵产品线区别（快速分清）

• EV‑S：风冷罗茨 → 洁净、轻载、低腐蚀

• EV‑X：中小型螺杆 → 通用、中腐蚀

• EV‑M：水冷罗茨 → 富氢、重载

• EST：水冷螺杆 + 高温恒温 + 强防腐 → EST25N 属于此系列，重制程

✅ 特点总结

• ✅ 高温防堵：泵内恒温，副产物不冷凝、不沉积

• ✅ 强耐腐蚀：镍基合金 + 涂层，耐受 Cl₂、HCl、HF 等

• ✅ 大抽速 + 高真空：2500 L/min、0.4 Pa，适合大腔体 / 快速抽气

• ✅ 电源通用：50/60Hz 抽速不变，全球适用

• ✅ 智能控制：LCD 面板、预警 / 报警存储、可编程

一句话：EST25N = 荏原 2.5m³/min 级、半导体 CVD 用高温防腐干式真空泵。

采购渠道

玉崎科学仪器（深圳）有限公司  原装现货供应

地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

项目负责人：林经理