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EBARA 荏原 EST100WN 螺杆式干式真空泵（加强防腐型）玉崎科学原装供应
更新时间：2026-06-11
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EBARA 荏原 EST100WN 螺杆式干式真空泵（加强防腐型）
核心定位：重工业级、高腐蚀 / 高粉尘 / 高温制程专用干泵，半导体 / 光伏 / 化工常用。
荏原EST100WN螺杆式干式真空泵
一、型号含义
EST：系列名（螺杆干式真空泵）
100：抽速 10,000 L/min（≈167 L/s）
WN：加强防腐（W = 耐 HF / 高卤素，N=Ni 基合金 + PFA 内衬）
二、关键规格（50/60Hz）
抽气速度：10,000 L/min
极限真空：≤0.4 Pa
额定功率：5.5 kW
冷却方式：水冷（5–8 L/min）
进气法兰：DN50（NW50）
排气法兰：NW40
重量：约330 kg
电源：3φ AC200–480V
三、核心特点
强防腐能力：转子镍基合金、腔体 PFA 特氟龙内衬，耐 HF、高浓度卤素、大量粉尘。
高温防沉积：泵体主动控温，反应副产物（如 NH₄Cl）不冷凝、不附着。
大抽速 + 高稳定性：10,000 L/min，适配 CVD、刻蚀、ALD、扩散等高负载制程。
智能控制：转速自动调节、LCD 可编程控制器、预警 / 报警存储。
全干运行：无油无水，无污染、易维护。
四、应用场景
半导体：CVD、PECVD、刻蚀、ALD、扩散
光伏：硅片制程、薄膜沉积
化工：腐蚀性气体、高温反应、粉尘环境
五、同系列对比（常用型号）
| 型号 | 抽速 (L/min) | 极限真空 (Pa) | 功率 (kW) | 防腐等级 |
|---|---|---|---|---|
| EST10N | 1,000 | ≤2.7 | 2.3 | 标准 (Ni-P) |
| EST25N | 2,500 | ≤0.4 | 3.0 | 标准 (Ni-P) |
| EST100WN | 10,000 | ≤0.4 | 5.5 | 加强 (PFA + 镍基合金) |
| EST200WN | 20,000 | ≤0.4 | 7.5 | 加强 |
六、维护要点
定期检查水冷流量与温度
按周期更换轴承 / 密封件
氮气吹扫系统维护（防腐蚀）
控制器参数校准与报警记录分析
七、 采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
项目负责人：林经理
