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产品型号：μLF-300S
更新时间：2025-11-18
厂商性质：代理商
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原装SONIC索尼克超声波微型液体流量计
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用于控制半导体制造工艺中微小区域内异丙醇、纯水、化学品等的流速。
・测量低至1毫升/分钟的微小流速。
・采用数字信号处理技术，实现高精度微小流速测量。
・传感器部分不与流体接触。
・测量范围广。
微型液体流量计 μLF-300S（分体式传感器）目录下载
μLF-300S
| 模型 | μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸） |
| 测量原理 | 超声波渡越时间差法 |
| 待测量的液体 | 纯水、水溶液、各种化学溶液 *如使用水以外的液体，请提前确认。 |
| 适用流体温度范围 | 15℃～80℃ *若使用温度高于60℃，请在使用前确认温度是否合适 |
| 流体压力 | 0.5兆帕或更低 |
| 流体运动粘度 | 100mm²/秒或更小 |
| 流量范围 | 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I) |
| 测量精度 | ±0.5%RD（1/8 英寸：200 至 1000 毫升/分钟；条件：室温，恒温水） ±1 毫升/分钟（1/8 英寸：0 至 199 毫升/分钟） ±0.5%RD（1/4 英寸：800 至 4000 毫升/分钟；条件：室温，恒温水） ±4 毫升/分钟（1/4 英寸：0 至 799 毫升/分钟） |
| 重复性 | ±0.2%（纯水，液体温度±0.5℃，30秒平均值） |
| 电源 | 直流24V±10% |
| 功耗 | 3.6瓦或更低 |
| 重量 | 转换器 240 克，检测器 70 克 |
| 尺寸（宽x高x深）（毫米） | 转换器 97 x 49 x 127 检测器 90 x 25 x 20（不含电子管） |
| 检测单元 | |
| 管材 | PFA（氟树脂） |
| 管径 | 1/8 英寸外径：3.17 毫米，内径：2.17 毫米；1/4 英寸外径：6.35 毫米，内径：4.35 毫米 |
| 结构 | IP65 等效 |
| 附带电缆 | 5米，连接器连接 |
| 输入部分 | |
| 数字输出 | 4线RS-422，4线RS-485 |
| 模拟输出 | 4-20mA（瞬时电流），负载电阻500Ω或更低 |
| 累积脉冲输出 | 1通道（开集电极） |
| 报警输出 | 1通道（开集电极） |
| 联系输入 | 1通道（零流量设置或清空） |
| 按键次数 | 4 个输入按钮 |
