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原装现货ULVAC日本爱发科真空传输机器人
产品简介:

原装现货ULVAC日本爱发科 COVOT-CR4 真空传输机器人
原装现货ULVAC日本爱发科真空传输机器人

产品型号:COVOT-CR4

更新时间:2025-11-12

厂商性质:代理商

访问量:29

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产品介绍

原装现货ULVAC日本爱发科真空传输机器人

原装现货ULVAC日本爱发科真空传输机器人

可搬运多片晶圆的高吞吐量真空传送机器人


真空传输机器人
COVOT系列
Model:COVOT

ULVAC

这是一款清洁型多功能真空搬运机器人,融合了 ULVAC 作为真空设备制造商培养的技术。
  • 原装现货ULVAC日本爱发科真空传输机器人

    COVOT-6-X5

  • 原装现货ULVAC日本爱发科真空传输机器人

    COVOT-CR4

特点

  • 有多种臂可供选择,以适应行程、转弯半径、传输板的数量等。

  • COVOT-CR4 由于其磁流体密封,可在 10-6 Pa 的高真空中使用。

规格

COVOT-6-X5COVOT-CR4
工作压力区域气压~10-1Pa气压~10-6Pa
晶圆尺寸200mm/300mm200mm/300mm
持有的晶圆数量4枚2枚
最大范围 *880mm1050mm
旋转角度360° 无穷±180°
提升行程110mm120mm
最小旋转直径 *980mm960mm
有效载荷能力(包括手)1kg1kg
操作速度伸缩式Max 1.5sec / 全行程最大限度 1.5sec/780mm
Max 2.0sec / 180°Max 2.0sec / 180°
提升Max 1.5sec / 20mmMax 3.5sec / 105mm
可重复位置精度伸缩式±0.1mm±0.1mm
±0.1mm±0.1mm
提升±0.1mm±0.1mm
示教器归属感归属感
控制器分开分开
取决于安装臂和手。



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