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产品型号:COVOT-CR4
更新时间:2025-11-12
厂商性质:代理商
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COVOT-6-X5

COVOT-CR4
有多种臂可供选择,以适应行程、转弯半径、传输板的数量等。
COVOT-CR4 由于其磁流体密封,可在 10-6 Pa 的高真空中使用。
| 型 | COVOT-6-X5 | COVOT-CR4 | |
| 工作压力区域 | 气压~10-1Pa | 气压~10-6Pa | |
| 晶圆尺寸 | 200mm/300mm | 200mm/300mm | |
| 持有的晶圆数量 | 4枚 | 2枚 | |
| 最大范围 * | 880mm | 1050mm | |
| 旋转角度 | 360° 无穷 | ±180° | |
| 提升行程 | 110mm | 120mm | |
| 最小旋转直径 * | 980mm | 960mm | |
| 有效载荷能力(包括手) | 1kg | 1kg | |
| 操作速度 | 伸缩式 | Max 1.5sec / 全行程 | 最大限度 1.5sec/780mm |
| 把 | Max 2.0sec / 180° | Max 2.0sec / 180° | |
| 提升 | Max 1.5sec / 20mm | Max 3.5sec / 105mm | |
| 可重复位置精度 | 伸缩式 | ±0.1mm | ±0.1mm |
| 把 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 提升 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 示教器 | 归属感 | 归属感 | |
| 控制器 | 分开 | 分开 | |