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产品型号:DIS-90
更新时间:2025-11-12
厂商性质:代理商
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ULVAC
结构紧凑,排气量大。
干式真空泵的最高压力水平。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。
分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺
| Unit | 50Hz | 60Hz | |
| 设计排气速度度※1 | L/min | 90 | 108 |
| 极限压力 | Pa (kPa) | 5 | |
| 使用电动机※2 | 单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転 | ||
| 全负荷电流 | A | 2.6/1.3/1.6 | 2.1/2.2/1.1/1.1 |
| (100/200/230V) | (100/115/200/230V) | ||
| 重量 | kg | 14 | |
| 吸气口径 | KF-25 | ||
| 排气口径 | KF-16 | ||
| 使用环境温度范围 | ℃ | 5~40 | |
| 水蒸气处理量 | g/day | ≦5 以下 (AF開時※3, 室温25℃, 湿度60%以下) | |
| 噪音水平 | dB | ≦52 (AF開時※3, ≦57) | |
| 最大尺寸 | mm | 214(W)×308(L)×225(H) | |
| 型号 | 认证标准※ | CE自我宣言 | 1Φ 100V系 | 1Φ 200V系 | 3Φ 200V系 | 3Φ 400V系 |
| DIS-90 | cTUV | ● | ● (可以通过更换端子板切换) | - | - | |
1 | 粉末和生成物吸入会导致泵损坏。 请使用吸气阱。 |
2 | 吸入有害气体如爆炸性气体,易*气体,有毒气体,腐蚀性气体,有机溶剂气体等,可能会因气体本身,爆炸或火灾而导致泵故障。 |

