原装现货ULVAC日本爱发科 LS120 螺杆式干式真空泵
原装现货ULVAC日本爱发科螺杆式干式真空泵

特征

• 在接近大气压下，抽气速度可达 80m3 ^/ h，与传统真空泵相比，抽气时间缩短了约 20%。

• 标配的专用消音器消除了干式真空泵的噪音问题。达到最大压力时的噪音水平为 61 分贝(A) 或更低，即使在运行过程中也几乎听不到。(*1)

• ECO-SHOCK 技术是 C 型规格的标准配置，也是 ULVAC 的专有节能技术。它能将极限压力下的功耗降低至 0.6kW 或更低。(*2)

• “LS 型号"无需轴封气体。这降低了主要使用氮气或废气的洁净工艺的运行成本。(*3)

• 对于那些希望进一步提高抽水速度的人，我们建议将其与机械增压泵结合使用，这样可以达到120-1200^{立方米/小时。}

（*1）对于 LS120A-C　
（*2）对于 C 规格　
（*3）对于 L 规格，也可以提供吹扫气体。

目的

C 规格：洁净工艺 (LS***AC)
　特点：低功耗型，内置 ECO-SHOCK
　应用：适用于洁净排气，如空气排气和 N2_排气，溅射/沉积/键合/装载锁定室/TMP 辅助等。

L 规格：轻工艺 (LS***AL)
　特点：轻工艺类型，具有表面处理和吹扫功能
　应用：适用于轻工艺，例如排出水蒸气和挥发性化学品、真空干燥、冷冻干燥、灰化、一般工业应用等。

规格

排气速度曲线

LS120A	LS300A
LS600A	LS1200A

方面