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产品型号：MS600A
更新时间：2025-11-11
厂商性质：代理商
访问量：27
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产品分类
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进口现货原装ULVAC日本爱发科真空泵
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MS型真空泵属于螺杆式干式真空泵。它在传统的LS型真空泵基础上进行了改进，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能，是一款耐腐蚀性更强的干式真空泵。该真空泵专为涉及腐蚀性气体和粉末排出的真空工艺而设计。
MS120A
MS600A
MS1200A
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊表面处理，可以实现高耐腐蚀性。
ULVAC独特的螺旋式转子轴设计实现了高粉末排出性能。
从大气压到极限压力，整个压力范围内均可连续运行。
电子元件和半导体制造设备、蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等的真空排气系统。
真空热处理炉、
烧结炉、渗碳炉等的真空排气系统。
锂电池制造设备、
电极干燥设备、脱气设备、液体喷射设备等的真空排气系统。
用于医疗和食品相关设备的真空排气冷冻
干燥设备、真空干燥设备等。
*MS1200A 可提供其他控制板和传感器规格。详情请联系我们。
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大泵速*1 | 立方米/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 极限压力 | 宾夕法尼亚州 | ≤0.6 | ≤0.1 | |
| 电源电压 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 大约功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体体积*1 | 空间光调制 | 0~50 | ||
| 最大水蒸气处理能力 *1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪音等级 *2 | 分贝(A) | 61 | 62 | 64 |
| 进气口 | KF50（水平）/ VG50（垂直） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | KF40 | |||
| 质量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 合规标准 | CE、cTUVus | |||
| 标准配件 | 快速使用手册、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器保护罩、专用消音器套装 | |||
| 主机选项 | 电源电压：200V 或 400V 级； 密封材料：氟橡胶 (FKM) 或全氟橡胶 (FFKM) | |||
| 外部选项 | 外壳排气口、抗震固定支架、LR兼容单元（进气口、信号灯）、吹扫气阀 | |||
*1：代表值
*2：极限压力下的值
*3：使用吹扫气体时的最大水蒸气通量
*4：包含消音器
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