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产品型号：EV-S30P
更新时间：2025-07-10
厂商性质：代理商
访问量：36
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日本EBABA荏原耐用性干式真空泵玉崎科学
日本EBABA荏原耐用性干式真空泵玉崎科学
优秀的转子设计和怠速功能实现了高水平的节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用，从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。
| 型 | 单位 | EV-S20 系列 | EV-S20P/N 系列 | EV-S30 系列 | EV-S30P 系列 | EV-S50 系列 | EV-S50P/N 系列 | EV-S100 系列 | EV-S100P/N | EV-S200 系列 | EV-S200P/N 系列 | |
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
| 温度 | °C | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | |
| 权力 | 电源容量 | 千伏安 | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 |
| 抽速 | 升/分钟 | 1670 | 1670 | 3300 | 3300 | 5000 | 5000 | 10000 | 10000 | 20000 | 20000 | |
| 极限压力 | 帕 | 3 | 5 | 0.5 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 连接直径 | 进气口 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 80 | 西北 80 | 西北 100 | 西北 100 | |
| 排气口 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 极限压力下的近似功率 | 千瓦 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
| N2 | 流量 | 帕•m3/秒 | - | 17~20 （2.4） | - | 17~20 （2.4） | 17~20 （2.4） | 17~20 （2.4） | 17~20 （2.4） | |||
| 电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | |
| 400V 型号 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | - | - | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | ||
| 近似质量 | 公斤 | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | ||||||
