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产品型号：EV-X300N
更新时间：2025-07-10
厂商性质：代理商
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这款用于中等负载工艺的干式真空泵配备了荏原的节能技术，采用了模块化设计，针对自动化工厂的制造进行了优化，以进一步实现小型化和节能。
宽范围温度控制扩展了应用过程。 使用同一台机器覆盖多个过程的能力优化了备用机器库存，降低了维护和培训要求，并为未来的过程扩展提供了灵活性。 此外，每个过程的最佳温度控制提高了工艺阻力，延长组件更换周期有助于减少 TCoO。
适用应用示例：各种蚀刻、CVD、灰化、离子注入、外延生长等。
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮
WATSON深江化成、TORAY东丽、3U
优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、EBABA荏原、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学 、ULVAC爱发科
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、RIKEN理研
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川
SEKONIC世光、ADVANTEC东洋等
