玉科到货：ULVAC 爱发科 DIS-90双绕式涡旋干式真空泵无油干泵

到货公告

各位客户、合作伙伴：大家好！

我司新一批ULVAC 爱发科的 DIS-90 是一款双绕式涡旋干式真空泵无油干泵已完成入库、检验、上架工作，目前库存充足，可正常接单、发货。

⚙️ 核心规格与性能

• 泵体结构：采用 1个动涡旋盘 + 2个定涡旋盘 的复合涡旋结构，通过偏心运动形成连续变化的密闭压缩腔，实现无油、无金属摩擦接触的洁净抽气。

• 抽气速度：

• 50Hz：90 L/min

• 60Hz：108 L/min

• 极限压力：≤ 5 Pa

• 电机规格：单相，150W，4极电容启动，支持 100/115/200/230V 多种电压。

• 接口尺寸：吸气口 KF25，排气口 KF16。

• 物理尺寸：214(W) × 308(L) × 225(H) mm，整机重量仅 14 kg，自带提手，便于移动和集成。

🛠️ 功能特色

• 无油洁净：泵腔内无润滑油，杜绝返油风险，不会污染样品、光学元件或精密腔体，性能优于传统油旋片泵。

• 空气吹扫 (Air Flush)：标配空气冲洗接口，通入少量干燥空气可有效抑制泵腔内水汽凝结，并有助于恢复极限真空度。

• 低振动低噪音：涡旋运转极其平稳，噪音 ≤52dB（开启AF）/ ≤57dB（关闭AF），振动远小于活塞式干泵，非常适合精密分析仪器。

• 运维可视化：标配运行计时表，可直观记录运行时长，便于规划密封件等耗材的保养周期；内置自动复位热保护器，防止电机过热。

• 宽压启动：可直接从大气压启动，无需预抽，常作为涡轮分子泵（TMP）的标准前级泵。

🏭 典型应用场景

• 分析仪器：氦质谱检漏仪、质谱仪、SEM扫描电镜、表面分析设备的前级泵。

• 半导体/光学：小型镀膜设备、Load-Lock预抽室、晶圆小型真空载台。

• 实验室真空：小型真空腔体、样品脱气、真空干燥、气体回收系统。

• 通用精密设备：小型等离子设备、科研真空实验装置。

⚠️ 重要使用注意事项

1. 严禁抽吸物：不可抽吸大量粉尘、有机溶剂蒸汽、强酸、卤素气体或液态水。仅允许微量水汽，长时间含水工况必须持续开启空气吹扫。

2. 前端过滤：进气口前端务必加装粉尘过滤器，固体颗粒会刮伤涡旋密封面，导致真空恶化甚至泵体损坏。

3. 使用环境：仅限室内使用，环境温度 5～40℃，避免雨淋、水溅或户外安装。

4. 冷却方式：采用风冷设计，无需连接冷却水，安装更灵活。

📝 快速参数表

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品牌负责人：林经理

玉崎科学仪器（深圳）有限公司

2026年9月10日