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玉崎科学到货：ULVAC 爱发科 LS120A 干式螺杆真空泵已完成入库
更新时间：2026-07-28
点击次数：8
到货公告
各位客户、合作伙伴：大家好！
我司新一批 ULVAC 爱发科 LS120A 干式螺杆真空泵已完成入库、检验、上架工作，目前库存充足，可正常接单、发货。
一、基础概述
品牌型号：日本 ULVAC（爱发科）LS120A泵类型：螺杆式干式真空泵（无油干泵）LS 系列为中小腔体通用干泵，依靠一对非接触螺杆转子压缩排气，泵腔不含润滑油，无油雾污染；可从大气压连续抽到中真空区间，分为两大配置版本：
LS120A-C（C 型，洁净款）
LS120A-L（L 型，轻度工艺款）
二、核心技术参数
| 项目 | LS120A-C（洁净型） | LS120A-L（工艺型） |
|---|---|---|
| 最大抽速 | 120 m³/h（50Hz） | 120 m³/h（50Hz） |
| 极限压力 | ≤0.6 Pa | ≤0.6 Pa |
| 极限真空功耗 | ≤0.6 kW（ECO-SHOCK 节能） | 常规负载运行 |
| 电源规格 | 三相 AC200–240V / 380–460V | 三相 AC200–240V / 380–460V |
| 进气法兰 | KF50（水平 / 垂直可选） | KF50 |
| 排气法兰 | KF40 | KF40 |
| 噪音 | ≤61 dB(A) | ≤61 dB(A) |
| 整机重量 | 142 kg | 142 kg |
| 冷却方式 | 水冷，冷却水流量≥2.0 L/min | 水冷，冷却水流量≥2.0 L/min |
| 水蒸气处理 | 不可处理水汽 | 最大 1.5 kg/h（配合氮气吹扫） |
| 吹扫氮气 | 无吹扫接口 | 标配氮气吹扫（0～50 SLM） |
三、型号版本差异
- LS120A-C 洁净型搭载 ULVAC ECO-SHOCK 智能节能系统，真空达到设定值自动降功率；不需要轴封氮气，运行成本更低。适用：干燥空气、氮气洁净排气，禁止水汽、有机溶剂、粉尘。
- LS120A-L 轻工艺型泵腔表面防腐处理，预留氮气吹扫回路，密封件可选 FFKM 全氟橡胶；可处理微量水蒸气、少量低沸点有机溶剂蒸汽。适用：真空干燥、冻干、等离子灰化等轻度工艺；不可抽强酸、卤素、大量粉尘。
四、产品主要特点
✅ 无油洁净：转子非接触式结构，无润滑油，杜绝返油污染工件✅ 常压抽气性能优异：大气压附近抽速高，相比传统干泵抽气时间缩短约 20%✅ 低噪音：内置一体式消音器，整机噪音控制在 61dB (A) 以内✅ 节能优势（C 型）：极限真空下功耗低，长期连续运转省电✅ 全区间运行：大气压→中真空可连续长时间运行，可作为分子泵（TMP）前级泵✅ 标准化真空法兰：KF 标准接口，方便管路配套
五、典型应用场景
LS120A-C（洁净款）
光学 / 半导体：溅射镀膜、蒸镀设备、Load-Lock 真空锁仓
真空设备：真空腔体预抽、分子泵前级泵、基板贴合机
LS120A-L（工艺款）
真空冷冻干燥、小型真空烘箱
等离子清洗、灰化工艺、轻度溶剂脱泡
六、使用重要注意事项
必须配套冷却水，缺水运行极易造成泵体过热损坏；
C 型严禁吸入水汽、液体、粉尘、腐蚀性气体；
L 型处理水汽 / 溶剂时，务必持续通入吹扫氮气，防止内部结露腐蚀螺杆；
进气前端建议设置粉尘过滤器，固体颗粒会划伤螺杆型面；
不适合大量粉尘、强酸碱、卤素气体工况（该场景选用 MS 系列防腐干泵）。
我司将持续保障货源稳定、供货及时，竭诚为大家提供优质的产品与服务。
如需询价、订购、索取产品资料及资质文件，可随时与我司对接人员联系。
品牌负责人：林经理
玉崎科学仪器（深圳）有限公司
2026年 07月27日
