玉崎科学仪器（深圳）有限公司正式成为日本EBARA荏原代理商

深化真空技术与流体机械领域合作，助力中国半导体与制造产业升级

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近日，玉崎科学仪器（深圳）有限公司（以下简称“玉崎科学仪器"）与日本百年工业——株式会社荏原制作所（EBARA Corporation）正式签署代理协议。即日起，玉崎科学仪器（深圳）有限公司正式成为EBARA荏原在中国地区的授权代理商。

此次合作的达成，标志着玉崎科学仪器在真空获得设备与流体机械领域的战略布局迈上新台阶。依托玉崎科学仪器深耕日系仪器多年的渠道管理经验与覆盖全国的销售服务网络，双方将共同致力于将EBARA荏原的高品质产品——包括干式真空泵、CMP装置、废气处理设备、臭氧水发生装置及通用泵类产品等——更高效地导入中国市场，为国内半导体、平板显示、光伏、化工、医药及科研领域的客户提供更短的交期、更具竞争力的价格以及原厂级别的技术支持。

关于EBARA荏原：百年积淀的综合环境技术企业

荏原制作所（EBARA Corporation）成立于1912年，总部位于日本东京，是一家拥有110余年历史的综合性工业集团。作为全球的泵类产品制造商和真空技术企业，荏原业务涵盖三大核心事业板块：一是以水泵、压缩机为核心的流体机械事业；二是以干式真空泵、CMP装置为核心的精密电子事业；三是以吸收式制冷机、冷却塔为核心的环境工程事业。

在半导体制造领域，荏原的精密与电子事业公司凭借真空技术和平坦化技术，向全球供应半导体制造的CMP装置、干式真空泵、废气处理装置、臭氧水生产装置等产品。这些产品通过高性能、高可靠性和令人放心的技术支持体制，在众多领域得到了广泛应用——不仅限于半导体领域，在化学、医药、其他制造业和研究开发用途方面同样大放光彩。

核心产品线介绍

（一）干式真空泵系列

荏原的干式真空泵采用非接触式结构，对于构建洁净的真空环境。主要系列包括：

（二）CMP装置（化学机械研磨设备）

荏原向全球主要半导体厂商供应高吞吐量CMP装置，如F-REX系列，具备经市场证明的高度可靠性及过程处理性能，并能灵活应对各客户的特殊规格要求。设备支持干进干出，配备支持大批量生产的多样辅助设备。

（三）废气处理装置

荏原的废气处理装置可对导致氟化温室气体（PFCs）、有毒气体、VOC等制造工艺中产生的有害气体进行无毒化处理。G5/G6系列机型能够高效处理难以进行净化处理的PFCs气体，适用于半导体、液晶面板、太阳能电池和LED制造业务。

（四）臭氧水发生装置

荏原的OZW系列臭氧水生产装置能够生成高浓度且浓度非常稳定的臭氧水，有助于提高处理效率、提高洁净度，广泛应用于半导体清洗工艺。

（五）通用泵类产品

作为全球水泵产品制造商之一，荏原提供涵盖清水、污水、化工液体等多种介质的泵类产品，包括CDX系列不锈钢离心泵、DWO系列卧式不锈钢泵、3M系列端吸离心泵等，广泛应用于建筑、工业、市政、农业水利等领域。

关于玉崎科学仪器：专业的日系仪器供应链平台

玉崎科学仪器（深圳）有限公司是日本科学器机株式会社在中国设立的全资子公司。公司凭借与日本众多制造商的长期良好合作关系，长期致力于为国内客户提供光学设备、电子计测仪器、科学仪器、环境试验设备及FA自动化等上万种产品销售。

公司拥有专业的销售与技术团队，秉持“提供有竞争力的解决方案和服务，持续创造客户价值"的理念，为国内科研机构及制造业工厂提供从选型到售后的一站式服务。

合作展望：本地化服务全面升级

成为EBARA荏原的授权代理商后，玉崎科学仪器将在中国市场启动如下服务升级：

1. 现货库存：针对热门型号（如EV-S系列干式真空泵等）建立深圳仓库安全库存，大幅缩短交货周期。

2. 专业技术支持：提供真空泵选型替代、安装调试、维护保养及配件配套服务，为客户提供从售前到售后的技术支持。

3. 解决方案整合：结合玉崎科学仪器原有的光学设备、环境监测仪器等产品线，为客户提供更全面的半导体、光伏及实验室综合解决方案。

玉崎科学仪器（深圳）有限公司

2026年4月3日