JULABO 优莱博 MAGIO 系列：温控平台在半导体、新材料与精密测试中的应用

一、旗舰定位：MAGIO 系列的技术底座

MAGIO 是 JULABO 优莱博目前温控产品线中的旗舰系列，涵盖加热循环器、加热制冷循环器、桥式循环器及超低温机型，工作温度范围覆盖 -90 °C 至 +300 °C，加热功率最高可达 3 kW。与 CORIO 系列定位于常规温控、DYNEO 系列面向精密实验流程不同，MAGIO 系列的设计目标是在 外部动态温控、温度模拟和高精度校准三个维度上同时达到水准。

这一目标体现在几个核心技术特征上：

±0.01 °C 的温度稳定性（符合 DIN 12876-2 标准），配合智能级联控制（Intelligent Cascade Control）技术，系统可自动优化 PID 参数，在外部应用条件下仍能保持 ±0.05 °C 的外部稳定性。设备搭载同类产品中强的压力/抽吸离心泵，流速 16 至 31 L/min，压力 0.24 至 0.92 bar，吸力 -0.03 至 -0.4 bar，且泵功率无级可调，可根据外部回路阻力灵活适配。

在接口层面，MAGIO 标配 USB、RS232/RS485、以太网（集成 Modbus TCP/IP）、外部 Pt100 接口及电磁阀控制接口，模拟量模块可选配，为设备集成到自动化流程和过程控制系统提供了完整通路。

二、半导体制造中的温控应用

半导体制造对温度控制的精度要求极为苛刻，而不同工艺环节对温控的需求又各有侧重。MAGIO 系列在半导体领域的应用主要集中在以下几个环节。

2.1 湿化学蚀刻与晶圆加工

在半导体湿化学蚀刻工艺中，蚀刻速率对温度高度敏感，即使极小的温度波动也可能改变蚀刻均匀性和关键尺寸（CD）的精度。MAGIO 系列通过外循环方式为蚀刻槽提供恒温浴液，其 ±0.01 °C 的温度稳定性和低液位自动保护功能，确保长时间批处理过程中的温度一致性。天然制冷剂版本的使用也符合半导体洁净厂房对环保和安全的要求。

2.2 CVD 与薄膜沉积过程温控

化学气相沉积（CVD）过程中，基片温度和反应腔体温度的精确控制直接决定薄膜的均匀性和致密性。JULABO 温控系统（包括加热制冷循环器和动态温控系统）被用于 CVD 工艺的温度控制，能够模拟外部条件波动并精确调节热传导流体的性能。MAGIO 系列凭借高达 3 kW 的加热功率和强的泵送能力，可以快速响应 CVD 过程中的温度调整需求，缩短工艺切换时间。

2.3 光伏电池与太阳能材料研究

在太阳能电池研发和光伏组件制造中，温度控制贯穿于材料沉积、性能测试和可靠性评估等环节。JULABO 的温控设备被用于光伏太阳能板制造中的温度管理，以及太阳能热发电（CSP）测试中传热流体的性能优化。MAGIO MS 系列紧凑的设计和宽广的温度范围使其能够在实验室规模的太阳能材料研究中提供稳定的温控条件。

三、新材料研发与测试中的温控应用

3.1 复合材料固化与性能测试

新材料研发中，混凝土、水泥和复合材料等建筑材料的性能对固化温度和养护环境高度敏感。JULABO 循环器可为材料模拟真实使用条件提供精确的热管理，确保材料满足耐久性和性能标准。MAGIO 系列在此类应用中的优势在于：宽广的温度范围可覆盖从低温养护到高温固化的全流程；内置程序控温功能（支持 8×60 段温度程序）可实现复杂的温度曲线模拟，如阶梯式升温固化或多周期温度循环试验。

3.2 环境模拟与条件测试

MAGIO 制冷循环器被广泛应用于环境模拟和材料及部件测试领域。对于需要在温度条件下评估性能的新材料——如航空航天用轻质合金、新能源汽车电池材料或柔性电子基底——MAGIO MS-1000FF 超低温机型可将工作温度下限延伸至 -90 °C，适用于极低温环境下的材料行为研究。设备大的压力/抽吸泵确保即使外部测试腔体存在较大管路阻力，仍能维持稳定的循环流量和温度均匀性。

3.3 反应过程温控与新材料合成

新材料的合成往往涉及放热或吸热反应，反应温度的精确控制直接影响产物结构和性能。MAGIO 系列配备的 TCF 特色温度控制功能允许用户设定内外温差极限和功率极限，在聚合反应、溶胶-凝胶合成或纳米材料制备过程中，防止因温度过冲导致产物缺陷。大尺寸 TFT 触摸屏和导航式菜单使研究人员能够快速切换控温策略，无需繁琐的参数设定流程。

四、精密测试与校准中的温控应用

精密温度校准是 MAGIO 系列具代表性的应用场景之一。传感器、测量设备和温度计的校准要求温源本身具有高的温度稳定性和均匀性，而 MAGIO 循环器正是以此为核心设计目标。

4.1 传感器与测量设备校准

MAGIO 循环器具有 ±0.01 °C 的温度稳定性（符合 DIN 12876-2），使其成为传感器、测量设备和温度计校准的理想平台。设备的 ATC10 功能支持在 10 个独立温度点对温度传感器进行调节，补偿因环境温度变化、振动、湿度或材料疲劳引起的偏差，确保传感器在整个使用寿命内保持最佳工作状态。

4.2 安全关键领域的温度校准

在医疗技术和汽车工程等安全关键领域，温度测量的准确性直接关系到产品安全。MAGIO 循环器能够按照许多法规和标准的要求进行定期温度校准，为质量保证和标准合规提供技术支持。设备的内部程序控温功能可预设校准温度序列，配合外部 Pt100 传感器接入，实现对被测设备点位的直接温度控制。

4.3 校准槽的扩展能力

对于需要更高校准精度的场景，MAGIO MS 系列可配合 JULABO 的校准槽附件使用。校准槽内部采用溢流筒结构，通过溢流筒置于浴槽内部的方式保证温度均匀性和稳定性，稳定性可达 ±0.005 °C。多种长度的外部 Pt100 传感器可根据不同的校准需求进行选配。

4.4 分析仪器配套恒温

在精密分析测试中，旋光仪、折光仪、粘度计、光度计等仪器的测量结果对温度波动极为敏感。MAGIO 系列通过外循环为这些仪器提供稳定的恒温介质，消除环境温度波动对测量精度的影响。设备可集成的模拟量接口和 Modbus TCP/IP 通讯协议，使其能够方便地接入实验室信息管理系统或自动化分析平台。

五、典型型号选型参考

针对上述应用领域，MAGIO 系列提供了差异化的型号选择：

MX-2500F 是 MAGIO 系列中性能强的实验室循环器之一，在 20 °C 时制冷功率达 2.57 kW，加热功率 3 kW，配备 R1270 天然制冷剂（GWP=2），能源效率较传统方案有显著提升。对于需要在宽温度范围内快速升降温的半导体工艺模拟和材料测试，该型号具有明显的性能优势。

六、小结

MAGIO 系列在半导体、新材料和精密测试三个应用领域的技术价值，集中体现在三个层面：动态温控能力——通过大的压力/抽吸泵和智能级联控制，在外部应用中维持 ±0.05 °C 的稳定性；条件覆盖——从 -90 °C 超低温到 +300 °C 高温，配合可编程温度曲线满足复杂温度序列模拟；校准精度保障——±0.01 °C 的温度稳定性和 ATC10 多点校准功能，为精密测量和标准合规提供技术基础。对于需要在这些领域实现高精度、高可靠性和高自动化程度温控的用户，MAGIO 系列提供了目前 JULABO 产品线中最为完整的解决方案

七、供货采购渠道

玉崎科学仪器（深圳）有限公司  原装现货供应

地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

项目负责人：林经理