MIYUKI 美幸辉 BAR‑J100｜JIS DN100 经济型电动伺服蝶阀（镀膜 / 锂电常规工艺）

原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司品牌负责人林经理 详细办公地址（广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层）

型号释义

• BAR：蝶板式电动伺服真空调节阀（经济型，蝶板置于流道内；对比 GAR 升降闸板式）

• J：JIS B2290 日标法兰

• 100：公称通径 DN100（100A）

• ‑B（可选）：选配电磁抱闸，断电锁止阀位；标准款无抱闸，断电阀位自由浮动

可定制：ISO‑F、KF、CF 刀口法兰；密封可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚适配等离子腐蚀工况。

结构与工作原理

1. 伺服直驱蝶板式结构

   DC24V 伺服电机直驱蝶板，无齿轮间隙，0‑90° 角度连续可调；蝶板始终处于气流通道内部；结构紧凑，整机体积小，成本优于 GAR 闸阀系列；减少滑动摩擦部件，颗粒控制满足工业常规工艺，不及 GAR 闸板等级。

2. 抱闸选项说明

• 标准 BAR‑J100：无电磁抱闸，断电阀位自由浮动，不锁止；

• BAR‑J100‑B：选配内置电磁抱闸，断电锁止当前开度，防止压力突变，适合不能允许阀位漂移的产线。

1. 信号接口：0‑10V /4‑20mA 模拟量、阀位反馈输出、RS485 通讯；搭配MGCS‑11 真空控制器组成 PID 闭环压力控制系统。

2. 装配检测：百级洁净室装配，逐台氦质谱检漏出厂；无流向限制，水平、垂直任意角度可安装。

⚠️阀体支持烘烤除气；伺服电机头部环境温度≤40℃，严禁烘烤电机组件。

完整技术参数

典型应用场景（镀膜 / 锂电常规工艺）

1. 工业 PVD 磁控溅射、光学镀膜腔体

   搭配 MGCS‑11 + 电容薄膜规 PID 闭环，稳定常规镀膜工艺压力；适合面板、普通光学镀膜，对颗粒要求不是最严苛的工况；相比 GAR 闸阀，降低设备采购成本。

⚠️8/12 寸半导体先进制程量产，极低颗粒要求，优先选用GAR‑J100B 闸板式伺服阀。

1. 锂电真空脱气、锂电烘烤量产腔体中等腔体排气节流调压，稳定真空工艺压力；选配‑B 抱闸版本，断电锁止阀位，保护锂电极片避免大气倒灌氧化。
2. 中试等离子清洗、研发样机、材料真空处理设备中小腔体闭环调压，设备预算有限，追求伺服电动调压，不想使用气动 G 系列（需要气源）。

标准闭环控制成套方案

选型横向对比（BAR‑J100‑B VS G‑J100 VS GAR‑J100B）

供货与选型提示

1. 供货状态：BAR‑J100 为 BAR 系列流通主力经济型型号，部分现货；‑B 抱闸版本、CF 法兰、Kalrez 密封为定制，日本原厂订货；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。

2. 选型避坑：不可与普通开关蝶阀 B‑J100 混淆；B‑J100 仅开关，无开度调节，不能做闭环压力控制；标准 BAR‑J100 无抱闸，需要断电锁止必须指定‑B 后缀。

提示：市场存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。