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更新时间:2026-09-04
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PA‑300‑MT 是 PA 系列模块化集成型测量机头单元;光学测量性能与 PA‑300 一致,光源与传感机头可与样品台分离;主打设备嵌入、半在线 / 离线自动化工位集成,既可以简易台式使用,也可集成到客户工装、自动化设备;500 万像素,面向低相位差精密基材无损面测量,3‑10 秒输出全域双折射云图。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 测量波长 | 520 nm 绿光 |
| 相位差量程 | 0‑130 nm |
| 传感器像素 | 2056 × 2464(约 500 万像素) |
| 标准镜头视场 | 约 37×44 mm;选配变焦镜头:7.0×8.4 mm~20.0×24.0 mm 微区观测. |
| 重复精度 | 相位差 σ 1.0 nm |
| 测量时间 | 3‑10 s / 全视场 |
| 输出 | 相位差 (nm)、光轴角度 (°);应力 MPa(选配) |
| 软件 | PA‑View;云图、线剖面、ROI 统计、CSV 导出、外部控制 API |
| 传感头尺寸 (W×D×H) | 160 × 190 × 316 mm |
| 传感头重量 | 约 4.0 kg(机头轻量化,便于机构安装) |
| 接口 | GigE;提供外部控制 API;电源 AC100‑240V 50‑60Hz |
光源‑传感头可与样品台分离:区别 PA‑300 一体化台式;机头可倒装、侧装,集成至客户自动化工装、机械手工位、半在线检测工位;样品台可由客户自有运动机构提供株式会社フ...。
完整继承 PA 系列 500 万像素高灵敏度,适合玻璃、晶圆微弱残余双折射定量检测;快照式成像,无运动光学部件,适合工业环境长期稳定运行。
支持变焦镜头,兼顾全域检测与局部微区观测。
开放外部控制 API 接口:支持上位机触发测量、获取测量结果,对接 PLC、MES、用户自动化软件;支持实时解析功能选件。
两种使用形态:①配套简易底座做实验室台式;②拆除底座,机头直接集成客户设备。
❗单波长机型,不支持三波长、不支持高位相差扩展;样品相位差上限 130 nm;高相位差集成场景选用 WPA‑300‑MT。
⚠️选型提示
实验室独立桌面使用:优先标准 PA‑300 / PA‑300‑L;
需要嵌入客户工装、自动化设备:选用PA‑300‑MT;
近红外集成测量:无 MT‑NIR 型号,需要 PA‑300‑NIR 机头定制;
微区显微集成:选用 PA‑micro‑S;
产线连续走带薄膜检测:选用 KAMAKIRI 系列线扫描机型。
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项目负责人:林经理