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PA‑300‑MT 模块化分体式二维双折射 / 残余应力测量单元

更新时间:2026-09-04点击次数:20

PA‑300‑MT 模块化分体式二维双折射 / 残余应力测量单元

品牌:Photonic‑Lattice(フォトニックラティス,日本)
PA‑300‑MT 是 PA 系列模块化集成型测量机头单元;光学测量性能与 PA‑300 一致,光源与传感机头可与样品台分离;主打设备嵌入、半在线 / 离线自动化工位集成,既可以简易台式使用,也可集成到客户工装、自动化设备;500 万像素,面向低相位差精密基材无损面测量,3‑10 秒输出全域双折射云图。

核心原理

像素级光子晶体偏振阵列传感器,无旋转检偏器运动部件;单波长520 nm 绿光,针对 0‑130 nm 微弱相位差信号优化;输出相位差 (nm)、光轴角度 (°);选配数据处理选件输入光弹系数换算等效应力 MPa

关键技术参数


项目参数
测量波长520 nm 绿光
相位差量程0‑130 nm
传感器像素2056 × 2464(约 500 万像素)
标准镜头视场约 37×44 mm;选配变焦镜头:7.0×8.4 mm~20.0×24.0 mm 微区观测.
重复精度相位差 σ 1.0 nm
测量时间3‑10 s / 全视场
输出相位差 (nm)、光轴角度 (°);应力 MPa(选配)
软件PA‑View;云图、线剖面、ROI 统计、CSV 导出、外部控制 API
传感头尺寸 (W×D×H)160 × 190 × 316 mm
传感头重量约 4.0 kg(机头轻量化,便于机构安装)
接口GigE;提供外部控制 API;电源 AC100‑240V 50‑60Hz

✨主要特点

  1. 光源‑传感头可与样品台分离:区别 PA‑300 一体化台式;机头可倒装、侧装,集成至客户自动化工装、机械手工位、半在线检测工位;样品台可由客户自有运动机构提供株式会社フ...

  2. 完整继承 PA 系列 500 万像素高灵敏度,适合玻璃、晶圆微弱残余双折射定量检测;快照式成像,无运动光学部件,适合工业环境长期稳定运行。

  3. 支持变焦镜头,兼顾全域检测与局部微区观测。

  4. 开放外部控制 API 接口:支持上位机触发测量、获取测量结果,对接 PLC、MES、用户自动化软件;支持实时解析功能选件。

  5. 两种使用形态:①配套简易底座做实验室台式;②拆除底座,机头直接集成客户设备。

  6. ❗单波长机型,不支持三波长、不支持高位相差扩展;样品相位差上限 130 nm;高相位差集成场景选用 WPA‑300‑MT。

🎯典型应用样品

✅半导体:石英掩模板、玻璃晶圆、蓝宝石、SiC 衬底自动化工位检测;✅光学玻璃:盖板玻璃、光学镜片批量离线抽检工位;✅自动化设备集成:自动化治具、机械手上下料工位、半产线离线质检站;✅精密光学元件成型后残余应力自动化评估。
⚠️选型提示
  1. 实验室独立桌面使用:优先标准 PA‑300 / PA‑300‑L;

  2. 需要嵌入客户工装、自动化设备:选用PA‑300‑MT

  3. 近红外集成测量:无 MT‑NIR 型号,需要 PA‑300‑NIR 机头定制;

  4. 微区显微集成:选用 PA‑micro‑S;

  5. 产线连续走带薄膜检测:选用 KAMAKIRI 系列线扫描机型。

🧩原厂可选配件

变焦镜头、应力 MPa 数据处理选件、视场校正功能、镜头分析功能、实时解析功能、外部控制 API 接口、遮光罩、镜片测量专用样品台株式会社フ...



Photonic‑Lattice日本供货采购渠道

玉崎科学仪器(深圳)有限公司  原装现货供应

地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

项目负责人:林经理


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