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MIYUKI 美幸辉 G‑C80 CF80 超高真空气动伺服真空控制蝶阀玉科原装供应
更新时间：2026-09-02
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MIYUKI 美幸辉 G‑C80｜CF80 超高真空气动伺服真空控制蝶阀（气源驱动闭环）
原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司品牌负责人：林经理地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
型号：G‑C80，CF80（DN80）刀口法兰 气动伺服调节蝶阀G 系列超高真空专用气源驱动伺服调节阀，无伺服电机，纯压缩空气驱动，0‑90° 全行程无级开度调节；采用 CF 刀口金属密封法兰，支持腔体高温烘烤除气，低放气、超低泄漏，主要用于科研超高真空系统、分子泵前端管路、小型超高真空腔体精密压力闭环调压，适配分子束外延、表面分析、科研样机等高要求工况。
型号释义
G：G 系列 气动伺服调节蝶阀（气源驱动闭环，非电动）
C：CF 刀口超高真空法兰（无氧铜垫片金属密封，支持烘烤）
80：公称通径 CF80（DN80）
可定制变更法兰：JIS、ISO‑F、KF；密封可选 Kalrez 全氟醚，适配等离子、腐蚀工艺气体。
结构与工作原理
驱动：纯气动伺服机构，无电机
0.4‑0.6 MPa 洁净干燥无油压缩空气驱动；内置阀位反馈电位器输出阀位信号，外接MGCS‑11 真空压力控制器组建 PID 闭环系统，自动调整蝶板开度稳定超高真空腔体工艺压力。
安全机制：单作用弹簧复位，失气自动全关
气源丢失弹簧强制关闭阀门，隔离腔体与分子泵，防止大气倒灌污染超高真空腔体内部样品；无电磁抱闸，失气直接全关，不能维持当前开度。
CF 刀口法兰，支持高温烘烤除气
CF 刀口法兰配无氧铜金属密封垫圈，阀体部分允许烘烤除气；注意：气动执行器气缸部分不可烘烤，烘烤时需隔离执行机构，适合科研超高真空系统除气需求。
球面多点双向压紧密封
正向、反向压差均可维持超高真空等级低泄漏；启闭摩擦小，低发尘、低放气，适配超高真空洁净科研工况。
出厂检测：百级洁净室装配，逐台氦质谱检漏。
完整技术参数
表格
| 项目 | G‑C80 CF80 参数 |
|---|---|
| 公称通径 | CF80（DN80）刀口法兰，无氧铜垫片密封 |
| 压力工作区间 | 1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁷Pa 超高真空 |
| 泄漏率 | 阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂 |
| 驱动气源 | 0.4‑0.6 MPa，干燥洁净无油压缩空气；弹簧复位失气关闭 |
| 开度调节 | 0‑90° 连续无级调节；阀位反馈输出，对接 MGCS‑11 闭环控制 |
| 过流材质 | 阀体、蝶板 SUS304，内腔镜面电解抛光 EP，极低放气低颗粒析出 |
| 标准密封 | FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等离子腐蚀 |
| 烘烤温度 | 阀体* 150℃烘烤除气；气动气缸执行器环境温度≤50℃，禁止烘烤气缸 |
| 机械寿命 | ≥100 万次循环 |
| 电气选配 | 微动开关输出全开 / 全关信号；阀位反馈信号输出 |
| 配套控制器 | MGCS‑11（主力）、MG‑mini485 嵌入式控制器 |
典型应用场景（科研 / 分子泵前端）
- 科研超高真空腔体、分子束外延 MBE、表面物理实验平台CF 法兰原生适配超高真空系统，阀体可烘烤除气，搭配 MGCS‑11 实现超高真空区间精密闭环调压；仅需气源，无需电机布线，科研设备改造友好。
- 分子泵前端节流调压（分子泵泵口管路）安装于分子泵与工艺腔体之间，动态调节流导，稳定腔体工艺压力；气源故障弹簧自动关闭，保护分子泵避免大气冲击损坏。
⚠️分子泵不可承受大气压，系统必须做好整机联锁保护。
小型超高真空 PVD、电子束蒸发、分析仪器真空腔体
小口径超高真空排气节流，补偿进气、泵抽波动，稳定薄膜制备、材料分析工艺压力。
⚠️8/12 寸半导体量产产线，需要断电保持阀位，优先选用BAR‑C80 电动伺服带抱闸型号；G‑C80 气源驱动更适合高校科研、实验室样机。
标准闭环控制成套方案
系统组成：G‑C80 气动伺服蝶阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规 / 电离真空计工作流程：真空规采集腔体压力 → MGCS‑11 执行 PID 运算 →输出气控驱动信号调整 G‑C80 蝶板开度 →动态补偿泵抽、进气扰动，锁定工艺压力。MGCS‑11 支持 7 组 PID 参数存储，RS485 通讯对接上位 PLC。
选型区分（G‑C80 VS BAR‑C80）
表格
| 项目 | G‑C80（气动伺服） | BAR‑C80（电动伺服） |
|---|---|---|
| 驱动 | 压缩空气驱动，无电机 | 伺服电机直驱，可选电磁抱闸‑B |
| 失气 / 断电状态 | 失气弹簧直接全关 | 断电抱闸，保持当前开度 |
| 适用定位 | 科研实验室、分子泵前端、超高真空样机 | 量产设备，需要断电保阀位工况 |
| 布线 | 只需气源，无需电机供电 | 需要 DC24V 供电，电机线缆布置 |
供货与选型提示
供货状态：G‑C80 属于 CF 超高真空特种伺服阀，国内现货少，多为日本原厂订货；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书；支持 Kalrez 密封定制。
选型避坑：不可与开关蝶阀 B‑C80 混淆；B‑C80 仅开关功能，无开度调节，不能做闭环压力控制；烘烤作业务必隔离气动气缸执行机构，不可一同加热。
提示：市场存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。
