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更新时间:2026-08-27
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原装供应:玉崎科学仪器(深圳)有限公司,品牌负责人林经理 办公地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
BH:两段缓抽双气缸气动蝶阀(B 基础蝶阀 + H Half 中间慢开档位)
J:JIS B2220 日标法兰,适配日系真空设备
150:公称通径 DN150(150A)
可定制:ISO‑F、KF、CF 法兰;密封升级 Kalrez 全氟醚适配腐蚀气体工况。
双气缸三工位机械结构
齿轮齿条气动驱动,两套气缸组合实现三个机械阀位:
0° 全关:腔体隔离;
0‑45° 可调节慢抽档位:机械限位可调,小开度缓慢抽真空,抑制气流冲击,防止粉体、极片碎屑飞溅;
90° 全开:大通流快速抽真空,缩短工艺节拍。
工艺时序:先切慢抽位,腔体压力平缓下降,待压力达到安全区间,再切全开做大流量抽气。
阀位反馈:内置 3 组独立微动开关,分别输出全关、慢抽位、全开信号,直接对接 PLC 做自动化时序逻辑。
驱动气源:0.4‑0.6MPa 洁净干燥无油压缩空气;失气安全逻辑:失气自动回到全关位置,保护腔体物料。
阀体特性:SUS304 镜面电解抛光 EP,低放气低颗粒;阀体可烘烤;气缸执行机构环境≤40℃,禁止烘烤气缸;无流向限制,任意角度可安装;逐台氦质谱检漏出厂。
| 项目 | BH‑J150 JIS DN150 参数 |
|---|---|
| 公称通径 | DN150(150A)JIS 日标法兰 |
| 真空工作区间 | 1×10⁵Pa(常压)~1×10⁻⁵Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s;轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,氦检出厂 |
| 驱动方式 | 双气缸两段式气动,齿轮齿条;气源 0.4‑0.6MPa 无油压缩空气 |
| 阀位档位 | 0° 全关;0‑45° 机械可调慢抽位;90° 全开三档机械定位 |
| 过流材质 | 阀体、蝶板 SUS304,内腔镜面电解抛光 EP |
| 标准密封 | FKM 氟橡胶,‑25~120℃;可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封 |
| 烘烤温度 | 阀体最高 150℃;气缸执行器≤40℃,不可烘烤 |
| 机械寿命 | ≥100 万次循环,动作缓冲降噪 |
| 电气信号 | 3 路独立微动开关:全关、慢抽位、全开阀位信号输出 |
选型边界区分:
BH‑J150(两段机械档位):只具备全关‑慢抽‑全开三个机械位置,不能连续 PID 调压,侧重防冲击、防飞溅预抽;
BAR‑J150(电动伺服蝶阀):0‑90° 连续角度调节,搭配 MGCS‑11 做 PID 闭环压力稳压;
G‑J150(气动伺服蝶阀):气源驱动,连续角度 PID 闭环调压。
⚠️BH 系列无连续 PID 调节能力,仅做两阶段机械开度控制,如需压力闭环需要搭配伺服阀系列。
| 项目 | BH‑J150 两段缓抽蝶阀 | BAR‑J150 电动伺服蝶阀 | G‑J150 气动伺服蝶阀 |
|---|---|---|---|
| 驱动 | 双气缸气动,0.4‑0.6MPa 气源 | DC24V 伺服电机,可选‑B 抱闸 | 0.4‑0.6MPa 压缩空气伺服驱动 |
| 阀位模式 | 三档机械位置:全关‑慢抽‑全开 | 0‑90° 连续角度可调 | 0‑90° 连续角度可调 |
| 控制能力 | 机械档位,不可 PID 闭环 | 配 MGCS‑11 实现 PID 闭环 | 配 MGCS‑11 实现 PID 闭环 |
| 失气 / 断电状态 | 失气自动全关 | ‑B 版本断电锁止阀位 | 失气弹簧直接全关 |
| 适用定位 | 锂电、光伏,大腔体防飞溅预抽慢抽 | 镀膜、工业腔体连续稳压 | 气源充足,需要连续闭环调压场景 |
供货状态:BH‑J150 中大口径缓抽阀,部分现货;Kalrez 密封、其他法兰版本日本原厂订货;可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。
选型避坑:BH 是机械两段档位阀,不能做连续 PID 压力调节;不要和普通 B‑J150 开关蝶阀混淆,B‑J150 只有全开全关两位置,无慢抽中间档位。
提示:市面存在翻新二手阀,采购务必核对本体铭牌与原厂检测资料。