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EBARA 荏原 EV‑A10‑2S 五级罗茨干式真空泵玉崎科学仪器原装现货供应
更新时间：2026-08-19
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EBARA 荏原 EV‑A10‑2S 五级罗茨干式真空泵玉崎科学仪器原装现货供应
EV‑A10‑2S：单相 200‑240V 风冷无油干泵；同系列三相版本 EV‑A10‑3S。定位：Load‑lock 预抽、科研腔体、镀膜、半导体中小型设备，不需要冷却水，仅供电即可运行，擅长反复从大气抽真空工况。
EV‑A10整机外观
型号释义
EV‑A10：系列本体，五级非接触罗茨干式泵
2S = Single‑phase 单相 AC200‑240V
3S = 三相 AC200‑240V
核心规格参数
| 项目 | EV‑A10‑2S 参数 |
|---|---|
| 泵类型 | 多级罗茨干式无油真空泵（5 级） |
| 最大抽速 | 1000 L/min（60 m³/h） |
| 大气压抽速 | 800 L/min |
| 极限真空（气镇关闭） | 1.0 Pa |
| 极限真空（气镇开启） | 2.0‑3.0 Pa |
| 最大水蒸气处理量 | 500 g/h（气镇开启） |
| 进气口 | NW40(KF40) |
| 排气口 | NW25(KF25) |
| 冷却方式 | 强制风冷，无需冷却水 |
| 供电 | 单相 AC200‑240V，50/60Hz，允许波动 ±10% |
| 电源容量 | 3.0 kVA |
| 极限真空运行功率 | 1.1 kW |
| 噪音 | ≤58 dB(A) |
| 外形 W×D×H | 317 × 544 × 344 mm |
| 整机重量 | 75 kg |
| 标配 | 可锁脚轮 + 调平底座、内置气镇阀、进气过滤器 |
| 认证 | CE、NRTL、SEMI‑S2 合规 |
结构与关键特点
五级非接触罗茨转子，泵腔与齿轮润滑腔隔离；无油，无返油污染，适合洁净腔体、光学、半导体 Load‑Lock 预抽。
风冷设计，不用水冷，无尘车间、实验室可以直接摆放，没有漏水风险。
50Hz/60Hz 抽速性能一致，内置变频驱动，低功耗、启停平稳。
自带可开关气镇阀，可处理水汽，适合溶剂、含水工艺；不适合强腐蚀工艺气体（可选吹扫选配）。
电气接口：具备报警输出、远程启停 I/O 信号，方便接入设备 PLC 控制系统。
消耗件：仅进气过滤器，转子非接触几乎无磨损，长周期免维护。
典型应用
半导体设备：Load‑lock 腔体预抽、等离子清洗、小型 PVD 镀膜机粗抽
科研真空腔体、光学实验、真空干燥
锂电：真空脱气、注液腔体预抽
频繁破真空、反复大气抽气工况（对比涡旋泵抽大气效率优势明显）
⚠️注意：本泵只到 1Pa 级别，属于粗抽 / 预抽泵，不能做高真空主泵；需要搭配分子泵获得高真空。
选配选项
耐蚀氮气吹扫套件：处理轻微腐蚀性气体
排气油雾捕集器
专用进气过滤器（粉尘颗粒工况
供货采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
项目负责人：林经理
